ઘર
મુખ્ય ઉત્પાદન
માઇક્રોપોરસ સિરામિક વેક્યુમ ચક
સિરામિક વેક્યુમ ચક લક્ષણો
મજબૂત અભેદ્યતા: એકસમાન હવાની અભેદ્યતા અને પાણીની અભેદ્યતા, સ્લાઇડ વિના ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રક્રિયામાં સિલિકોન વેફરના સમાન બળ અને ચુસ્તપણે શોષણની ખાતરી કરવા.
ગાઢ અને એકસમાન માળખું: ગાઢ અને સમાન માળખું સાથે સૂક્ષ્મ છિદ્રાળુ સિરામિક સામગ્રી અપનાવવી, જે સિલિકોન ધૂળને શોષવામાં સરળ નથી અને ચકને સાફ કરવું સરળ છે.
ઉચ્ચ શક્તિ: ગ્રાઇન્ડીંગ દરમિયાન કોઈ વિરૂપતા નથી, તે સુનિશ્ચિત કરવા માટે કે ગ્રાઇન્ડીંગ કરતી વખતે દરેક બિંદુએ સિલિકોન વેફર સમાનરૂપે ભાર મૂકે છે, અને ધાર તૂટી જવાની ઘટના, કાટમાળ બનવું સરળ નથી.
લાંબુ જીવન: સપાટીના આકારની જાળવણી સારી છે, ડ્રેસિંગ ચક્ર લાંબું છે અને ડ્રેસિંગની રકમ ઓછી છે, તેથી તે ઉચ્ચ જીવન ધરાવે છે.
સરળ ડ્રેસિંગ: ડ્રેસિંગ કરતી વખતે કોઈ ક્રેકીંગ, ફ્રેગમેન્ટેશન, થ્રેશિંગ અસાધારણ ઘટના હશે નહીં.
હલકો: છિદ્રોની આંતરિક રચનાને કારણે, ચોક્કસ ગુરુત્વાકર્ષણ ગુણાંક 1.6-2.8 છે.
ઉચ્ચ ઇન્સ્યુલેશન: ઇન્સ્યુલેટીંગ સામગ્રી, સ્થિર વીજળી દૂર કરો.
ચોકસાઈ નિયંત્રણ
| શ્રેણી | આધાર સામગ્રી | શોષણ સપાટી સામગ્રી | કદ | સપાટતા | સમાંતરતાની ઊંડાઈ |
| છિદ્રાળુ ચક | એલ્યુમિનિયમ એલોય | છિદ્રાળુ SIC | ≤12μm | ≤15μm | ≤20μm |
| કાટરોધક સ્ટીલ | ≤10μm | ≤15μm | |||
| એલ્યુમિના | ≤5μm | ≤8μm | |||
| સિલિકોન કાર્બાઇડ | ≤3μm | ≤8μm | |||
| છિદ્રાળુ સિરામિક ચક સ્પષ્ટીકરણો અને કદની સંપૂર્ણ શ્રેણી ધરાવે છે, જેનો ઉપયોગ 3-ઇંચની લાઇન, 4-ઇંચની લાઇન, 5-ઇંચની લાઇન, 6-ઇંચની લાઇન, 8-ઇંચની લાઇન અને 12-ઇંચની લાઇનમાં કરી શકાય છે, અને તમને જોઈતી વિશિષ્ટતાઓ અને કદ અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે. | |||||
| વર્તમાન કેસનું મહત્તમ કદ છે :1600*1600m, જાડાઈ 50mm છે; | |||||
છિદ્રાળુ સિરામિક સામગ્રીની લાક્ષણિકતાઓ:
મુખ્ય ઘટકો: એલ્યુમિના રંગ: કાળો, આયર્ન ગ્રે
એલ્યુમિના સામગ્રી: 92% ભેજ સામગ્રી: 0%
છિદ્ર: 2~30um છિદ્રાળુતા: 35~40%
બેન્ડિંગ સ્ટ્રેન્થ : 6kgf/cm2 (Mpa) વોલ્યુમ રેશિયો: 2.28g/cm3
સિરામિક ચક પ્રકાર
વપરાશ અનુસાર, સિરામિક ચક આમાં વિભાજિત કરવામાં આવે છે:
પાતળું મશીન આનાથી સજ્જ છે: ઘર્ષક ડિસ્ક ચક, સિલિકોન વેફર, નીલમ સબસ્ટ્રેટ અને અન્ય પાતળા;
કટિંગ મશીન આનાથી સજ્જ છે: સ્ક્રાઇબિંગ ચક, સિલિકોન વેફર, સેમિકન્ડક્ટર કમ્પાઉન્ડ વેફર અને અન્ય કટિંગ;
સફાઈ મશીન સજ્જ: સફાઈ ચક;
ફિલ્મ રીમુવીંગ મશીન આનાથી સજ્જ છે: ફિલ્મ રીમુવીંગ ચક;
લેમિનેટિંગ મશીનથી સજ્જ: લેમિનેટિંગ ચક;
પ્રિન્ટીંગ મશીન સાથે સજ્જ: પ્રિન્ટીંગ ચક.
ગુણવત્તા ખાતરી
ફાઉન્ટિલ પાસે સિરામિક ચક માટે ઉત્પાદનની સ્થિરતા અને ઉત્પાદનની સુસંગતતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે એન્જિનિયરિંગ સિરામિક પ્રિસિઝન અને અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન પ્રોસેસિંગ અને મેન્યુફેક્ચરિંગ, વિવિધ ભૌતિક અને રાસાયણિક વિશ્લેષણ સાધનો અને ભૌમિતિક માપન સાધનોનો ઘણા વર્ષોનો ટેકનિકલ અનુભવ છે.
ઉત્પાદન એપ્લિકેશન
છિદ્રાળુ ચક (એશોર્પ્શન વર્કિંગ ટેબલ) એ સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ સ્ટેજમાં વપરાતો ઘટક છે અને સ્ક્રાઇબિંગ મશીન અથવા ઇન્સ્પેક્શન ડિવાઇસ પર એસેમ્બલ થાય છે. તે એક એવું ઉત્પાદન છે જે છિદ્રાળુ માળખું અને વર્કબેન્ચની સપાટીના નકારાત્મક દબાણનો ઉપયોગ પાતળા સિલિકોન વેફરને સપાટ રાખવા માટે કરી શકે છે. સ્ક્રાઇબિંગ મશીન લગભગ 20μm પહોળાઈ સાથે સિલિકોન વેફરને કાપી નાખે છે, તેથી વેફર શોષણ સપાટીની સપાટતા અને સમાંતરતાની જરૂરિયાત ખૂબ વધારે છે. તેમની સંબંધિત લાક્ષણિકતાઓ અનુસાર, વિવિધ છિદ્રોની રચનામાં વિવિધ એપ્લિકેશન રેન્જ હોય છે, જેમ કે મોટા ચોક્કસ સપાટી વિસ્તાર અને નાના છિદ્ર કદ સાથે માઇક્રોપોરસ સિરામિક્સ, સામાન્ય રીતે બેક્ટેરિયલ ગાળણક્રિયા અને માઇક્રોબાયલ ફિક્સેશન ક્ષેત્રોમાં વપરાય છે; તેમના ચોક્કસ વ્યાસના વિતરણ સાથે મેસોપોરસ સિરામિક્સનો ઉપયોગ ઘણીવાર વિભાજન, શોષણ ઉત્પ્રેરક ક્ષેત્રોમાં થાય છે. મેક્રોપોરસ સિરામિક્સ સામાન્ય રીતે મોટી સામગ્રી અને મોટા કદવાળા પદાર્થોના રફ ગાળણ માટે યોગ્ય છે.