ASML की स्थापना 1 अप्रैल 1984 को ASM लिथोग्राफी के रूप में हुई थी। फिलिप्स और एएसएम इंटरनेशनल के बीच इस संयुक्त उद्यम का मिशन पीएएस 2000 का व्यावसायीकरण करना है, जो फिलिप्स द्वारा विकसित एक वेफर स्टेपर है...
ईयूवी के फायदों में से एक चिप प्रसंस्करण चरणों में कमी है, और पारंपरिक मल्टीपल एक्सपोज़र तकनीक के बजाय ईयूवी का उपयोग करने से जमाव, नक़्क़ाशी और ... के चरणों में काफी कमी आएगी।