एएसएमएल की उद्यमशीलता की कहानी: लिथोग्राफी दिग्गज के लिए विकास का मार्ग

ASML की स्थापना 1 अप्रैल 1984 को ASM लिथोग्राफी के रूप में हुई थी। फिलिप्स और एएसएम इंटरनेशनल के बीच इस संयुक्त उद्यम का मिशन फिलिप्स द्वारा विकसित वेफर स्टेपर पीएएस 2000 का व्यावसायीकरण करना है।

1，डीउद्योग का मल्टीप्लेक्स

1960 और 1970 के दशक में, चिप निर्माताओं ने सेमीकंडक्टर मूल्य श्रृंखला का अधिकांश हिस्सा घर में ही बनाया - एक तैयार माइक्रोचिप बनाने के लिए आवश्यक सभी चरण। फिर, 1970 के दशक के अंत और 1980 के दशक की शुरुआत में, सेमीकंडक्टर निर्माण तकनीक आकार और जटिलता में तेजी से बढ़ी। इस विकास ने सेमीकंडक्टर मूल्य श्रृंखला में श्रम के विभाजन को प्रेरित किया है। सेमीकंडक्टर उपकरण उद्योग ऑफ-द-शेल्फ टॉप एंड समाधान प्रदान करने के लिए उभरा। इस ऑफ-द-शेल्फ क्षमता के साथ, अब चिप निर्माताओं और उपयोगकर्ताओं के लिए अपने स्वयं के चिप बनाने वाले उपकरण विकसित करने का कोई मतलब नहीं रह गया है।

माइक्रोचिप्स पर मुद्रण पैटर्न के लिए जटिल लिथोग्राफी सिस्टम विकसित करने के लिए विशेषज्ञ उपकरण आपूर्तिकर्ता विशेष रूप से महत्वपूर्ण हैं। इन प्रणालियों में सुधार करना ताकि वे छोटी विशेषताओं को मुद्रित कर सकें, मूर के नियम को आगे बढ़ाने की कुंजी है। चिप निर्माताओं के लिए, अधिक ट्रांजिस्टर का मतलब कम लागत पर अधिक कंप्यूटिंग क्षमता प्राप्त करना है।

2，PAS 2000 का प्रोटोटाइप

इसी संदर्भ में फिलिप्स ने सिलिकॉन वेफर्स के पैटर्निंग के लिए अपना स्वयं का वेफर स्टेपर विकसित करना शुरू किया। प्रोटोटाइप सिलिकॉन रिपीटर (SIRE) I और II फिलिप्स रिसर्च सेंटर द्वारा विकसित किए गए थे। फिलिप्स ऑटोमेटेड स्टेपर 2000 का जन्म इन शोध प्रोटोटाइप से हुआ था।

फिलिप्स रिसर्च सेंटर में, जहां फिलिप्स का प्रभाग मुख्य रूप से बुनियादी अनुसंधान पर ध्यान केंद्रित करता है, वेफर स्टेपर एक विसंगति हैं। बाजार की मांग तेजी से उद्यम अनुसंधान और विकास को बढ़ावा दे रही है, और इंजीनियरिंग विनिर्माण उपकरण का अधिक उपयोग किया जाता है। 1978 से शुरू होकर, फिलिप्स साइंस एंड इंडस्ट्री (एस एंड आई) ने PAS2000 नाम के तहत व्यावसायीकरण प्रयासों को बढ़ावा दिया।

3.औद्योगिक नीति, निवेशक और उद्यमी

1970 के दशक के अंत में, यूरोपीय आयोग के निर्देशन में, पश्चिमी यूरोपीय सरकारों ने औद्योगिक नीति को नया आकार दिया। वे उभरते उद्योगों, विशेष रूप से तेजी से बढ़ते सेमीकंडक्टर और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगों को लक्षित करते हुए नवाचार और सहयोग पर ध्यान केंद्रित करते हैं। ये नीतियां आर्थिक गतिविधियों को बढ़ावा देने और यदि संभव हो तो संघर्षरत समूहों को पुनर्जीवित करने के नए साधन हैं, जिनमें से कई (फिलिप्स सहित) टूटना शुरू हो गए हैं।

आयोग के अनुरोध पर, फिलिप्स और अन्य कंपनियों ने अपनी-अपनी सरकारों को इन उद्योगों के महत्व को व्यक्त किया। यूरोप की सबसे बड़ी इलेक्ट्रॉनिक्स कंपनी से यह जानकारी प्राप्त करने के बाद, डच सरकार ने विषय को और अधिक समझ लिया और अपनी अनुवर्ती कार्रवाई की जानकारी दी।

बढ़ती लागत, वैश्विक प्रतिस्पर्धा और तकनीकी प्रगति बड़ी कंपनियों को गैर-प्रमुख व्यवसायों को बेचने और अपने परिचालन पर फिर से ध्यान केंद्रित करने के लिए मजबूर कर रही है। फिलिप्स के लिए, उन गतिविधियों में से एक उनका वेफर स्टेपर था। साथ ही, उभरती उद्यम पूंजी फर्म और उद्यमशीलता-संचालित स्टार्ट-अप और स्केल उद्यम औद्योगिक विकास के लिए एक नया प्रतिमान प्रदान करते हैं।

4，प्रगति करने का दबाव

1982 की शुरुआत में, फिलिप्स की लिथोग्राफी महत्वाकांक्षाओं को एक बड़ी चुनौती का सामना करना पड़ा। उन्हें अधिक इंजीनियरिंग संसाधनों की आवश्यकता है। हालाँकि उन्होंने मूल्यांकन उपकरण के लिए एक बाहरी ग्राहक आईबीएम से संपर्क किया, लेकिन इस बारे में काफी अनिश्चितता थी कि क्या इसे 1982 की गर्मियों के लिए समय पर वितरित किया जाएगा। फिलिप्स रिसर्च सेंटर के इंजीनियर तुरंत बचाव में आए। S&I अधिकारी डच सरकार और यूरोपीय आयोग से अतिरिक्त फंडिंग मांगने के लिए अक्सर हेग और ब्रुसेल्स का दौरा करते हैं। समय, धन और डच अर्थव्यवस्था मंत्रालय के दबाव में, फिलिप्स एस एंड आई ने अपने वेफर स्टेपर के लिए एक भागीदार की तलाश शुरू की। इसके बाद मास्क एलाइनर और ट्रैक बनाने वाली कंपनी कोबिल्ट के साथ शुरुआती चर्चा हुई, इसके बाद लिथोग्राफी मार्केट लीडर पर्किन एल्मर के साथ चर्चा हुई।

उसी समय, डच आर्थिक मामलों के मंत्रालय, फिलिप्स और एक बढ़ती डच कंपनी, एएसएम इंटरनेशनल (या संक्षेप में एएसएम) के बीच तीन-तरफा बातचीत शुरू हुई। यूरोपीय आयोग की नवीन माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स परियोजना ESPRIT के संदर्भ में, चिप कंपनियों ने अमेरिकी उपकरणों पर अपनी निर्भरता के बारे में चिंता व्यक्त की है। उद्योग की जरूरतों को पूरा करने के लिए, मंत्रालय और आर्थर डेल प्राडो ने स्वयं एएसएम को एक संभावित समाधान के रूप में प्रस्तावित किया।

5,साझेदारी की तलाश

हालाँकि, फिलिप्स ने एएसएम की स्थिति को बहुत कम माना और पर्किन एल्मर का पक्ष लिया। डेल प्राडो में उद्यमशीलता की भावना और सफलता होने के बावजूद, फिलिप्स के अधिकारी अभी भी एएसएम को एक नई शुरुआत के रूप में देखते हैं। पर्किन एल्मर लिथोग्राफी टूल्स के बड़े इंस्टॉलेशन बेस वाली एक बड़ी और विविध कंपनी है, जिसे एक मजबूत भागीदार माना जाता था। हित पारस्परिक है. 1980 के दशक की शुरुआत तक, वेफर स्टेपर्स ने पर्किन एल्मर के माइक्रोलिग्न्स की तुलना में स्वीकार्य उत्पादकता के साथ सबसे छोटे फीचर आकारों पर अधिक नियंत्रण प्रदान किया। बढ़ती प्रतिस्पर्धा के बीच अमेरिकी कंपनी ने अपनी बाजार स्थिति को तेजी से मजबूत करने की कोशिश की है।

पर्किन एल्मर फिलिप्स एस एंड आई या लिकटेंस्टीन-आधारित स्टार्टअप सेंसर के साथ साझेदारी करने पर विचार कर रहे हैं। उन्होंने कंपनी के संसाधनों और पीएएस 2000 की उन्नत प्रकृति का हवाला देते हुए फिलिप्स को प्राथमिकता दी। प्रस्तावित संयुक्त उद्यम में, पर्किन एल्मर अग्रणी भूमिका निभाएंगे और बिक्री और सेवा के लिए जिम्मेदार होंगे। फिलिप्स प्रौद्योगिकी और विनिर्माण क्षमताओं में योगदान देगा। हालाँकि, फिलिप्स ने अपने आंतरिक संसाधनों, जैसे कि अधीनस्थ फिलिप्स रिसर्च सेंटर तक पहुंच प्रदान करने में संकोच किया। इस झिझक ने बातचीत को बहुत लंबा बना दिया और अंततः पर्किन एल्मर ने सेंसर के साथ मिलकर काम किया।

6，परियोजना की तात्कालिकता

1983 तक, फिलिप्स एस एंड आई की वेफर स्टेपर टीम, जिसमें लगभग 50 इंजीनियर शामिल थे, अनिश्चितता का सामना कर रही थी। मशीन को अपग्रेड करने, उत्पादन करने और बेचने के लिए उन्हें लगभग 120 मिलियन गिल्डर (वर्तमान मूल्य स्तर पर लगभग 245 मिलियन यूरो) की आवश्यकता होगी। ट्रोस्ट के कठिन और लगातार प्रयासों के बावजूद, जिसमें वेरियन और पैनासोनिक के साथ साझेदारी की खोज भी शामिल थी, वेफर स्टेपर टीम बहुत देर हो चुकी थी। तात्कालिकता स्पष्ट है.

7，एएसएमएल की शुरुआत

5 सितंबर 1983 को, फिलिप्स और एएसएम ने एक संयुक्त उद्यम बनाने के अपने इरादे की घोषणा की। अगले कुछ महीनों में, उन्होंने साझेदारी के विवरण को परिष्कृत किया। अर्थव्यवस्था मंत्रालय या उसके निवेश वाहनों के शेयरों पर विचार किया गया। फिलिप्स रिसर्च सेंटर में प्रवेश के लिए बातचीत हुई। वस्तु और नकद में योगदान निर्दिष्ट किया गया था। निवेश पर रिटर्न योजना का मसौदा तैयार किया गया था। एक महत्वाकांक्षी और दूरदर्शी नए महाप्रबंधक, गज़ाल्ट स्मिट ने पदभार संभाला। महत्वपूर्ण बात यह है कि 50 मौजूदा फिलिप्स एसएंडआई कर्मचारियों को आकर्षक रोजगार शर्तों की पेशकश की गई है। लेकिन क्योंकि उन्होंने जीवन भर फिलिप्स में काम किया है, वे संयुक्त उद्यम को फिलिप्स के विनिवेश के रूप में देखते हैं। लोग ऐसे स्टार्ट-अप पर भरोसा करने से झिझक रहे हैं जिसकी बाजार तक कोई पहुंच नहीं है और जिसकी प्रमुख प्रौद्योगिकियों को फिर से डिजाइन किया जाना चाहिए। इसके बावजूद, समूह में अभी भी 47 हस्ताक्षरकर्ता हैं।

शुरुआत से, एएसएमएल को नवाचार-संचालित उद्यमिता के अवतार के रूप में देखा गया था और उम्मीद थी कि यह नीदरलैंड की भविष्य की आर्थिक क्षमता को सुरक्षित करेगा। युवा कंपनियाँ, आवेग और उत्साह के साथ, अनिश्चित लेकिन आशापूर्ण भविष्य की ओर बढ़ रही हैं। वेल्डहॉवन में जाना इस कहानी का अंत हो सकता है, लेकिन एएसएमएल के लिए यह सिर्फ शुरुआत है। फिलिप्स के बाहरी शेड में बिताए उन शुरुआती दिनों ने एएसएमएल के उस कंपनी के रूप में विकसित होने की नींव रखी जिसे आज हम जानते हैं। टीम रचनात्मक है और तकनीकी नवाचार को आगे बढ़ाने और जो संभव है उसकी सीमाओं को आगे बढ़ाने के लिए दृढ़ संकल्पित है।

8，विनम्र शुरुआत

1988 में, फिलिप्स द्वारा ताइवान में एक संयुक्त उद्यम फाउंड्री स्थापित करने के बाद, हमने एशियाई बाजार में प्रवेश करना शुरू किया। संयुक्त राज्य अमेरिका में, हम पाँच स्थानों पर कुछ कर्मचारियों से बढ़कर 84 हो गए हैं। लेकिन कई आपूर्तिकर्ताओं के साथ अत्यधिक प्रतिस्पर्धी बाजार में, नीदरलैंड की यह अल्पज्ञात छोटी कंपनी आगे नहीं बढ़ सकी।

ASML के पास आत्मनिर्भर होने के लिए बहुत कम ग्राहक थे। मामले को बदतर बनाने के लिए, शेयरधारक एएसएमआई, कम रिटर्न के साथ उच्च स्तर के निवेश को बनाए रखने में असमर्थ, ने वापस लेने का फैसला किया, जबकि वैश्विक इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग की स्थिति बद से बदतर हो गई, फिलिप्स ने बड़े पैमाने पर लागत में कटौती कार्यक्रम की घोषणा की। हमारी युवा, नकदी हड़पने वाली लिथोग्राफी कंपनी का अस्तित्व अधर में लटका हुआ है। चल रहे अनुसंधान और विकास में दृढ़ विश्वास और फंडिंग मार्गदर्शन की तत्काल आवश्यकता से प्रेरित होकर, एएसएमएल अधिकारियों ने फिलिप्स बोर्ड के सदस्य हेंक बोड्ट से संपर्क किया, जिन्होंने अपने सहयोगी को अंतिम हाथ देने के लिए मना लिया।

9，प्रारंभिक सार्वजनिक पेशकशों में हाथ बंटाने से लेकर

निवेश का सदुपयोग किया गया है। वर्ष के दौरान, हमने अपना सफल प्लेटफॉर्म पीएएस 5500 लॉन्च किया। अपनी उद्योग-अग्रणी उत्पादकता और रिज़ॉल्यूशन के साथ, पीएएस 5500 ने उन प्रमुख ग्राहकों को आकर्षित किया है जिनकी एएसएमएल को लाभदायक बनने के लिए आवश्यकता है। यह परिपक्वता की ओर पहला कदम है।

PAS 5500 वह प्लेटफ़ॉर्म है जिसके लिए ASML जाना जाता है। अपने लॉन्च से पहले, एएसएमएल लिथोग्राफी बाजार में दिग्गज निकॉन और कैनन के बाद तीसरे स्थान पर था। लेकिन पीएएस 5500 प्लेटफॉर्म की सफलता ने एएसएमएल को तुरंत दूसरे स्थान पर पहुंचा दिया और लिथोग्राफी में एक वैश्विक नेता के रूप में इसके विकास के लिए मंच तैयार किया। पीएएस 5500 1970 के दशक में फिलिप्स शोधकर्ताओं द्वारा शुरू की गई प्रणालियों की एक श्रृंखला से विकसित हुआ। प्लेटफ़ॉर्म का नाम ही इसकी विरासत और फिलिप्स: फिलिप्स ऑटोमैटिक स्टेपर (पीएएस) के साथ हमारे दीर्घकालिक संबंधों को दर्शाता है।

ASML 1995 में एम्स्टर्डम और न्यूयॉर्क स्टॉक एक्सचेंजों में सूचीबद्ध एक पूरी तरह से स्वतंत्र सार्वजनिक कंपनी बन गई। फिलिप्स ने अपने आधे शेयर आरंभिक सार्वजनिक पेशकश में बेचे और बाकी अगले वर्षों में बेचे। आईपीओ हमारे विकास को आगे बढ़ाने के लिए धन लेकर आया और हमने वेल्धोवेन डी रन में अपने अनुसंधान और विकास और उत्पादन सुविधा का विस्तार किया, जो बाद में हमारा नया मुख्यालय बन गया।

10,ट्विन्सकैन और विसर्जन प्रौद्योगिकी ने मार्ग प्रशस्त किया

2001 में, हमने ट्विनस्कैन प्रणाली और इसकी क्रांतिकारी दो-चरण तकनीक पेश की। ये सिस्टम अगले वेफर को मापते और संरेखित करते समय दूसरे वेफर को उजागर करते हैं, जिससे सिस्टम की उत्पादकता और सटीकता अधिकतम होती है, जिससे ग्राहक के लिए स्वामित्व का मूल्य बढ़ जाता है। उसी वर्ष, हमने सिलिकॉन वैली ग्रुप का अधिग्रहण पूरा किया, जिससे सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी प्रगति में एएसएमएल की क्षमताओं में और वृद्धि हुई। TWINSCAN AT:1150i ने 2003 में पहली विसर्जन मशीन के रूप में शुरुआत की, इसके बाद 2006 में TWINSCAN XT:1250i, XT:1400i और पहली बड़े पैमाने पर उत्पादित विसर्जन मशीन XT:1700i आई।

2007 में, हमने 1.35 के संख्यात्मक एपर्चर के साथ ट्विनस्कैन XT:1900i विसर्जन प्रणाली पेश की, जो उद्योग में उच्चतम विशिष्टता है। इस नई तकनीक के साथ, हम ग्राहकों को लेंस और वेफर के बीच पानी की परत के माध्यम से प्रकाश प्रक्षेपित करके छोटी चिप सुविधाएँ बनाने में सक्षम बनाते हैं। बाद में 2007 में, हमने सेमीकंडक्टर डिज़ाइन और विनिर्माण अनुकूलन समाधान के अग्रणी प्रदाता, BRION का अधिग्रहण किया। यह हमारी "समग्र लिथोग्राफी" रणनीति की शुरुआत थी। हम लिथोग्राफी सिस्टम के अपने ज्ञान को लिथोग्राफी से पहले, उसके दौरान और बाद में चिप निर्माण प्रक्रियाओं को अनुकूलित करने में अपने कौशल के साथ जोड़ते हैं। हमारी समग्र लिथोग्राफी रणनीति के शुरुआती चरणों में एक अन्य प्रमुख उत्पाद यील्डस्टार है, हमारी मेट्रोलॉजी प्रणाली जो चिप निर्माण प्रक्रिया के दौरान वास्तविक समय माप और अंशांकन प्रदान करती है। पहला यील्डस्टार (250डी) 2008 में ग्राहकों को दिया गया था।

11,ईयूवी के साथ फिर से समय बदलें

2020 की शुरुआत में, EUV ने बड़े पैमाने पर उत्पादन में प्रवेश किया और हमने अपने 100वें EUV सिस्टम की शिपमेंट का जश्न मनाया। लेकिन 2020 एक अन्य कारण से भी महत्वपूर्ण है: COVID-19 महामारी। दुनिया भर में हमारी टीमों ने नए नए तरीकों से ग्राहकों को दूरस्थ रूप से समर्थन देकर, महामारी का जवाब देने के लिए अपनी विशेषज्ञता का उपयोग करके और स्थानीय समुदायों का समर्थन करने के लिए अनुकूलन और सुधार करने की अपनी क्षमता साबित की है। साबित करें कि उनमें अनुकूलन और सुधार करने की क्षमता है।

नवंबर 2020 में, बर्लिनर ग्लास समूह का अधिग्रहण पूरा हो गया और हमने आधिकारिक तौर पर एएसएमएल परिवार में बर्लिनर ग्लास टीम का स्वागत किया। समूह के तकनीकी ग्लास डिवीजन को अप्रैल 2021 में ग्लास ट्रोश समूह में बदल दिया गया था।

2023 में, हमने 0.55 तक संख्यात्मक एपर्चर (जिसे "उच्च संख्यात्मक एपर्चर" कहा जाता है) के साथ पहली अगली पीढ़ी की ईयूवी प्रणाली पेश की। EXE नामक प्लेटफ़ॉर्म में एक नया ऑप्टिकल डिज़ाइन और काफी तेज़ प्लेटफ़ॉर्म है।

आगे देखते हुए, एएसएमएल अद्भुत काम करना जारी रखेगा। फाउंटिल टेक्नोलॉजीज पीटीई लिमिटेड, सेमीकंडक्टर विनिर्माण उद्योग पर ध्यान केंद्रित कर रहा है, मुख्य उत्पादों में शामिल हैं: पिन चक, छिद्रपूर्ण सिरेमिक चक, सिरेमिक अंत प्रभावक, सिरेमिक स्क्वायर बीम, सिरेमिक स्पिंडल, संपर्क और बातचीत के लिए आपका स्वागत है!