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सीएमपी डिवाइस सेमीकंडक्टर के लिए मास्टर मिरर ग्राइंडर

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सीएमपी डिवाइस सेमीकंडक्टर के लिए मास्टर मिरर ग्राइंडर

2024-05-10

सीएमपी (केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग) तकनीक सेमीकंडक्टर निर्माण में वैश्विक समान और सपाट वेफर सतहों को प्राप्त करने के लिए एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। यह नैनोस्केल पर वैश्विक समतलता प्राप्त करने के लिए रासायनिक संक्षारण और यांत्रिक पीसने की सहक्रियात्मक क्रिया के माध्यम से वेफर सतह से अतिरिक्त सामग्री को हटा देता है। सीएमपी प्रक्रिया में तीन मुख्य चरण होते हैं: पॉलिशिंग, सफाई और स्थानांतरण। पॉलिशिंग प्रक्रिया के दौरान, पॉलिशिंग तरल की रासायनिक संरचना वेफर सतह सामग्री के साथ प्रतिक्रिया करके एक फिल्म बनाती है जिसे यांत्रिक रूप से हटाया जा सकता है, और फिर पॉलिशिंग पैड एक चिकनी सतह प्राप्त करने के लिए यांत्रिक रूप से इस फिल्म को हटा देता है। सीएमपी उपकरणों को एप्लिकेशन आवश्यकताओं के अनुसार 8-इंच, 12-इंच और 6/8-इंच संगत उपकरणों में विभाजित किया जा सकता है।


चित्र 1.पीएनजी


बाज़ार और प्रमुख उद्यम

सीएमपी उपकरण का मुख्य बाजार तीन खंडों से आता है, सिलिकॉन वेफर विनिर्माण के लिए सीएमपी उपकरण, वेफर फाउंड्री के लिए सीएमपी उपकरण, और सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट निर्माण के लिए सीएमपी उपकरण। एकीकृत सर्किट निर्माण प्रक्रिया की निरंतर कमी के साथ, सीएमपी प्रक्रिया की मांग धीरे-धीरे बढ़ रही है, विशेष रूप से लॉजिक चिप निर्माण में, उन्नत प्रक्रिया नोड्स के सीएमपी प्रक्रिया चरणों की संख्या काफी बढ़ जाती है। सीएमपी बाज़ार का आकार लगातार बढ़ रहा है। विशेष रूप से, मुख्य भूमि में नई उत्पादन क्षमता मुख्य भूमि बाजार की विकास दर से अधिक होने की उम्मीद है।


वैश्विक सीएमपी उपकरण बाजार पर अत्यधिक एकाधिकार है, मुख्य रूप से एप्लाइड मैटेरियल्स द्वारा, वैश्विक सीएमपी उपकरण बाजार के नेता, उन्नत सीएमपी समाधान प्रदान करते हैं, और इसके उत्पाद परिपक्व प्रक्रियाओं से लेकर उन्नत प्रक्रियाओं तक विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों को कवर करते हैं। इबारा, जापान के पास ड्राई-इन/ड्राई-आउट तकनीक का पेटेंट है, और इसके उत्पाद अपनी उच्च विश्वसनीयता और उत्पादन दक्षता के लिए जाने जाते हैं। कुल मिलाकर, उनका बाजार में 90% से अधिक हिस्सा है।


परिपक्व प्रक्रिया के क्षेत्र में, घरेलू उद्यमों ने विदेशी दिग्गजों के एकाधिकार को तोड़ दिया है और एक निश्चित बाजार हिस्सेदारी प्राप्त की है। सीएमपी उपकरण के घरेलू निर्माताओं में मुख्य रूप से हुआहाई क्विंगके शामिल हैं, जिन्होंने 28 एनएम प्रक्रिया के औद्योगिक अनुप्रयोग का एहसास किया है, 14 एनएम प्रक्रिया प्रौद्योगिकी का सत्यापन किया जा रहा है, और यह एकमात्र निर्माता है जो चीन में 12-इंच सीएमपी उपकरण प्रदान कर सकता है। स्को प्रिसिजन आईसी विनिर्माण में सभी जटिल फ़्लैटनिंग प्रक्रिया आवश्यकताओं के लिए सीएमपी उपकरण प्रदान करता है, जो 0.09-0.35um प्रक्रिया नोड्स से आईसी उत्पादन का समर्थन करता है। 8-इंच सीएमपी उपकरण आपूर्तिकर्ता, जिंगी प्रिसिजन ने स्वतंत्र बौद्धिक संपदा अधिकारों के साथ पहला घरेलू 8-इंच सीएमपी उत्पादन लाइन बड़े पैमाने पर उत्पादन उपकरण लॉन्च किया। हांग्जो झोंगएसआई ने एकीकृत सर्किट, बड़े सिलिकॉन वेफर्स और तीसरी पीढ़ी के अर्धचालकों के लिए 6-इंच, 8-इंच और 12-इंच सीएमपी डिवाइस सफलतापूर्वक विकसित किए हैं।


राय:

1 चिप प्रक्रिया उन्नयन, सीएमपी उपकरण अनुप्रयोग अधिक बार होगा, बाजार स्थान, विशेष रूप से घरेलू बाजार स्थान बढ़ रहा है

2. घरेलू उपकरण प्रौद्योगिकी में सुधार जारी है, और घरेलू उपकरण परिपक्वता बढ़ रही है

3. जैसा कि हम सभी जानते हैं, ऐसे कई घरेलू उद्यम हैं जो इसे बना सकते हैं, बाजार में उतार-चढ़ाव शुरू हो गया है, और प्रौद्योगिकी-अग्रणी उद्यमों या नए अनुप्रयोग क्षेत्रों को खोलने वाले उद्यमों का भविष्य उम्मीद के अधिक योग्य है।


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