Dom
Proizvodi
0102030405
Elektrostatska stezna glava s kompatibilnošću, visokom gustoćom, visokom strukturnom čvrstoćom s prilagođenim
Značajke
Kompatibilnost | Prilagodba | Visoka gustoća | Visoka strukturna čvrstoća | Brzo vrijeme isporuke | Isplativ
Prijave
Lon-implantacija | Tanki film | Etch | Razvoj procesa | Dizajn opreme
Dizajn i proizvodnja
12 inčni Fab isporučen za provjeru stvarne izvedbe, pružanje regeneracije i popravka te provjeru razvoja i dizajna.
S razvojem procesne opreme i procesne tehnologije poluvodiča i integriranog kruga, tradicionalne elektrostatske stezne glave koje koriste organske polimerne materijale, metalne okside i keramičke materijale kao dielektrike nisu u potpunosti kompatibilne s takvim materijalima kao što su silicijske pločice, safir i silicij karbid. Stoga će se postupno razvijati elektrostatske stezne glave kompatibilne s poluvodičkim hvataljkama prve, druge i treće generacije.
Polimerna elektrostatska stezna glava/grijač
Polimerni dielektrični materijal (polimer) trenutno je najčešće korišten elektrostatski stezni materijal, njegov postupak pripreme je također najzreliji, polimerni dielektrični materijal nakon tretmana modifikacije polimera, električna, mehanička, temperaturna otpornost, svojstva otpornosti na halogene bit će znatno poboljšana. Dielektrični materijal je oblikovan drugim integriranim operacijama, a zatim slojeviti višestupanjskim vakuumskim velikim opterećenjem, a gusti dielektrični izolacijski sloj formiran je između unutarnjih elektroda.
Polimerna elektrostatska stezna glava
Tehnologija modifikacije polimera koristi se za postizanje većeg volumenskog otpora i relativne dielektrične konstante te za postizanje stabilnije sile stezanja.
Dielektrični materijali visoke gustoće mogu smanjiti rizik od čestica i pokretljivost iona.
Raznolikost steznih predmeta može biti kompatibilna sa stezanjem pločica od različitih materijala.
Izvrsna otpornost na koroziju u halogenim i plazma atmosferama.
Visoki troškovni učinak, kratko razdoblje prihvaćanja, pogodno za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.
Polimerna elektrostatska stezna glava s grijačem
Može realizirati raspored više temperaturnih zona grijanja (do 20 temperaturnih zona) i ima dobru ujednačenost temperature grijanja (±5%℃@150℃).
Tehnologija vakuumske laminacije koristi se za postizanje ekstremno visoke gustoće i temperature zagrijavanja do 200°C.
Ujednačena krivulja grijanja, sa širim rasponom postavki temperaturne krivulje.
Visoki troškovni učinak, kratko razdoblje prihvaćanja, pogodno za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.
Keramička elektrostatska stezna glava/grijač
Tehnologija keramičke koagulacije je poboljšani proces sinteriranja u razvoju keramičkih elektrostatskih steznih glava i grijača od glinice/aluminijeva nitrida. Njegova srž je korištenje različitih keramičkih prahova nanometarskog promjera, koji se miješaju u određenom omjeru kroz jedinstvenu opremu za miješanje i postupak miješanja. Keramičke elektrostatske stezne glave visoke gustoće, stabilne kristalne strukture i ravnomjerne raspodjele otpora sinterirane su s određenom krivuljom temperature sinteriranja u opremi za sinteriranje. Statička stezna glava proizvedena tehnologijom keramičke koagulacije ima visoku gustoću, stabilnu kristalnu strukturu i jednoliku distribuciju volumnog otpora i može ostvariti normalnu funkciju stezanja čipa u teškim uvjetima pod visokim vakuumom, plazmom i halogenom.
Al₂O₃ elektrostatska stezna glava
Volumni otpor kontrolira se tehnologijom koagulacijske keramike i postupkom zajedničkog pečenja kako bi se postigla dulja sila držanja.
Unutarnja struktura visokotemperaturnog sinteriranja je gusta, a kristalna struktura stabilna, a može se dobiti kapacitet držanja većeg temperaturnog intervala.
Integrirano kalupljenje za zajedničko pečenje smanjuje migraciju iona.
Dugotrajan rad u atmosferi plazma halogenog vakuuma.
AlN elektrostatska stezna glava
Kontrolom sastava i udjela betonskog materijala može se kontrolirati volumni otpor i postići sposobnost držanja u većem temperaturnom intervalu.
Ujednačena raspodjela temperaturnih zona osigurana je tehnologijom sinteriranja i postupkom supečenja betonske keramike.
Integrirano kalupljenje za zajedničko pečenje za maksimalnu kvalitetu proizvoda.
Dugotrajan rad u atmosferi plazma halogenog vakuuma.
Keramička elektrostatska stezna glava s grijačem
Može ostvariti raspored više temperaturnih zona grijanja i ima dobru ujednačenost temperature grijanja (±7,5%℃@350℃).
Tehnologija sinteriranja vakuumskog laminiranja koristi se za postizanje ekstremno visoke temperature zgušnjavanja i zagrijavanja do 550 ℃.
Integrirano kalupljenje za zajedničko pečenje za maksimalnu kvalitetu proizvoda.
Dugotrajan rad u atmosferi plazma halogenog vakuuma.
Kompleksni tip elektrostatske stezne glave/grijača
Može biti kompatibilan sa silicijem, galijevim arsenidom, silicijevim karbidom, safirom za stezanje pločica, može smanjiti troškove promjene žice kod proizvođača opreme i krajnjih korisnika. Na temelju betonske keramičke tehnologije i tehnologije modificiranja polimera, korištenje integrirane vakuumske laminacije i tehnologije vrućeg lijepljenja može smanjiti unutarnji toplinski otpor elektrostatskog sisaljke, postići ujednačenost unutarnje temperature, formirati gusti dielektrični izolacijski sloj kako bi se poboljšala otpornost na migraciju iona.
Elektrostatska stezna glava složenog tipa
Korištenje tehnologije modifikacije betonske keramike i polimera, ima veću gustoću strukture i manje oslobađanje plina.
Stroža kontrola sloja dielektrika i debljine banke elektroda.
Raznolikost steznih objekata može biti kompatibilna sa stezanjem različitih pločica.
Otpornost tijela može se točno kontrolirati kako bi se dobio jači elektrostatički kapacitet zadržavanja.
Visoki troškovni učinak, kratko razdoblje prihvaćanja, pogodno za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.
Elektrostatska stezna glava složenog tipa s grijačem
Može ostvariti raspored više temperaturnih zona grijanja i ima dobru ujednačenost temperature grijanja (±3,5%℃@150℃).
Tehnologija vakuumske laminacije koristi se za postizanje ekstremno visoke gustoće i temperature zagrijavanja do 200°C.
Ujednačena krivulja grijanja, sa širim rasponom postavki temperaturne krivulje.
Visoki troškovni učinak, kratko razdoblje prihvaćanja, pogodno za razvoj procesa proizvoda i verifikaciju razvoja nove opreme.