Dom
Glavni proizvod
0102030405
Mikroporozna keramička vakuumska stezna glava
Značajke keramičke vakuumske stezne glave
Snažna propusnost: ravnomjerna propusnost zraka i propusnost vode, kako bi se osigurala jednolika sila i čvrsta adsorpcija silikonske pločice u procesu mljevenja bez klizanja.
Gusta i ujednačena struktura: Usvajanje mikroporoznog keramičkog materijala s gustom i ujednačenom strukturom, koja ne može lako apsorbirati silikonsku prašinu, a stezna glava se lako čisti.
Visoka čvrstoća: nema deformacija tijekom brušenja, kako bi se osiguralo da je silicijska pločica ravnomjerno opterećena u svakoj točki prilikom brušenja, i nije lako dogoditi fenomen kolapsa rubova, krhotine.
Dug vijek trajanja: zadržavanje oblika površine je dobro, ciklus obrade je dug, a količina obloge je mala, tako da ima dug vijek trajanja.
Lako dotjerivanje: neće doći do pucanja, pucanja, mlaćenja prilikom dotjerivanja.
Lagan: Zbog unutarnje strukture pora, koeficijent specifične težine je 1,6-2,8.
Visoka izolacija: izolacijski materijal, uklanja statički elektricitet.
Kontrola točnosti
| kategorija | Osnovni materijal | Adsorpcijski površinski materijal | Veličina | Ravnost | dubina paralelizma |
| Porozna stezna glava | Aluminijska legura | Porozni SIC | ≤12μm | ≤15 μm | ≤20μm |
| Ne hrđajući Čelik | ≤10μm | ≤15 μm | |||
| Glinica | ≤5μm | ≤8μm | |||
| Silicij karbid | ≤3μm | ≤8μm | |||
| Stezna glava od porozne keramike ima kompletan raspon specifikacija i veličina, koje se mogu koristiti u liniji od 3 inča, liniji od 4 inča, liniji od 5 inča, liniji od 6 inča, liniji od 8 inča i liniji od 12 inča, i može se prilagoditi prema specifikacijama i veličinama koje trebate. | |||||
| Maksimalna veličina trenutnog kućišta je: 1600 * 1600 m, debljina je 50 mm; | |||||
Karakteristike poroznog keramičkog materijala:
Glavni sastojci: glinica Boja: crna, željezno siva
Sadržaj glinice: 92% Sadržaj vlage: 0%
Otvor blende: 2~30um Poroznost: 35~40%
Čvrstoća na savijanje: 6 kgf/cm2 (Mpa) Omjer volumena: 2,28 g/cm3
Tip keramičke stezne glave
Prema namjeni, keramičke stezne glave dijele se na:
Stroj za stanjivanje opremljen sa: steznom glavom za brusni disk, silikonskom pločicom, safirnom podlogom i drugim stanjivanjem;
Stroj za rezanje je opremljen sa: steznom glavom, silikonskom pločicom, poluvodičkom spojnom pločicom i drugim rezanjem;
Stroj za čišćenje opremljen sa: steznom glavom za čišćenje;
Stroj za skidanje filma opremljen je sa: steznom glavom za skidanje filma;
Stroj za kaširanje opremljen sa: steznom glavom za kaširanje;
Tiskarski stroj opremljen sa: tiskarskom steznom glavom.
Osiguranje kvalitete
Fountyl ima dugogodišnje tehničko iskustvo u preciznoj inženjerskoj keramičkoj i ultrapreciznoj obradi i proizvodnji, nizu instrumenata za fizikalnu i kemijsku analizu i geometrijskih mjernih instrumenata, kako bi se osigurala stabilnost proizvodnje i konzistentnost proizvoda za keramičke stezne glave.
Primjena proizvoda
Porozna stezna glava (adsorpcijski radni stol) je komponenta koja se koristi u fazi proizvodnje poluvodiča i sastavlja se na stroju za crtanje ili uređaju za pregled. To je proizvod koji može koristiti poroznu strukturu i negativni tlak površine radnog stola kako bi tanka silikonska pločica ostala ravna. Stroj za crtanje reže silikonsku pločicu širine oko 20 μm, tako da su zahtjevi za ravnošću i paralelnošću adsorpcijske površine pločice vrlo visoki. U skladu sa svojim karakteristikama, različite strukture pora imaju različita područja primjene, kao što je mikroporozna keramika s velikom specifičnom površinom i malom veličinom pora, koja se obično koristi u poljima bakterijske filtracije i fiksacije mikroba; Mezoporozna keramika sa svojom specifičnom raspodjelom promjera često se koristi u poljima separacije, adsorpcijske katalize. Makroporozna keramika obično je prikladna za grubu filtraciju tvari s velikim sadržajem i velikom veličinom.