Dom
Proizvodi
0102030405
Porozna zračna plutajuća platforma s tehnologijom prijenosa opterećenja beskontaktnog načina rada za industriju poluvodiča
Tradicionalna zračna plutajuća platforma općenito prihvaća tehnologiju prigušivanja s malim rupama, prigušivanja torusom ili prigušivanja s prorezom, koju karakterizira jednostavna tehnologija obrade, ali kada se tlak dovodnog zraka promijeni, lako je proizvesti fenomen zviždanja, zvuk je oštar, a ležaj kapacitet također varira, što nije prikladno za tiho i stabilno radno okruženje pod pritiskom.
Tradicionalne TFT-LCD staklene podloge izrađuju robotske ruke (Roboti) i AGV (automatizirano vođeno vozilo) sustavi. Staklena podloga u procesu proizvodnje. To je kontaktna operacija s platformom za prebacivanje tereta (ili valjkom). Kada je staklena podloga u kontaktu s platformom za prebacivanje opterećenja ili valjkom, dodirivanje i trenje uzrokuje ova oštećenja ili nedostatke, probleme nedostajućih kutova, pucanje, oštećenje, kontaminaciju i statički elektricitet na površini staklene podloge, a zatim utječe na proizvodnju prinos i kvaliteta proizvoda, uz korištenje valjka rotacije prijenos opterećenja, još uvijek imaju tehničkih problema za prevladavanje. Ovi problemi imaju dubok utjecaj na učinkovitost proizvodnje staklenih supstrata velikih dimenzija i hitno ih je potrebno poboljšati. Ako tehnologija beskontaktne zračne plutajuće platforme može zamijeniti probleme proizašle iz tradicionalne kontaktne tehnologije prebacivanja opterećenja, to će biti učinkovito rješenje. Prednosti zračnog plutajućeg sustava:
1. Nulto trenje.
2. Nulto trošenje.
3. Primjenjivo je ravno gibanje, rotacijsko gibanje.
4. Tihi i glatki rad.
5. Veće prigušenje.
6. Eliminirajte ulje.
Struktura zračne plutajuće platforme sastoji se od nanoporozne keramike ugrađene u bazu kako bi se formirala vakuumska komora. čisti komprimirani zrak bez vode i ulja ulazi u razmak između površine ležaja i zračne plutajuće vodilice kroz plinsku cijev. Plin teče kroz raspor zračnog moda kako bi površina ležaja plutala na zračnoj plutajućoj vodilici. Plin djeluje kao mazivo za pomicanje ili transport predmeta bez trenja.
Konstrukcija za uobičajeni plutajući otvor za zrak:
a) Prigušna struktura otvora
b) Porozna struktura
Najveća prilagođena veličina: duljina 1600 mm, širina 1000 mm
Oprema za beskontaktni transport i prebacivanje tereta uglavnom je za poboljšanje problema uzrokovanih tradicionalnom tehnologijom rukovanja nakon što staklena podloga postane veća, jer u procesu transporta i prebacivanja tereta nije u izravnom kontaktu s objektom rada, tako da se može izbjeći pojava vezivanja zagađivača, naprezanja, statičkog elektriciteta i oštećenja staklene podloge. Porozni materijal, s druge strane, značajno smanjuje protok plina, postiže ujednačen tlak zraka i dobru raspodjelu zračnog jastuka te osigurava dovoljnu visinu lebdenja potrebnu za rad.