Dom
Glavni proizvod
Četvrtasta greda i vodilica za ultra-preciznu platformu kretanja i opremu za detekciju
Uzimajući sklop vakuumske stezne glave kao primjer, materijal korišten u najranijoj eri ploča od 2 inča i 4 inča bio je zrakoplovni aluminij, ali je naišao na usko grlo ultra-visoke ravnosti (bolje od 1 mikrona) u eri velikih dimenzija. vafla (8" i više od 8"), koji ne može zadovoljiti tvrdi indeks ultra-visoke ravnosti i eliminira se. Dalje, aluminijev oksid materijal kao prijelaz, njegov modul elastičnosti, mala težina, toplinska vodljivost i koeficijent širenja i patuljasti silicij karbid, ali ne na nekim neugodnim; Nakon proboja u tehnologiji pripreme silicij-karbidne keramike velikih dimenzija i složene šuplje strukture posebnog oblika, unaprijeđene su komponente uključujući ultra-preciznu bazu izratka, ultra-preciznu vodilicu za zračni plovak i polugu prijenosa vafera.
Ne samo gore spomenuti keramički dijelovi od silicij-karbida koji zadovoljavaju ultra-visoke precizne tvrde indikatore o ravnosti, paralelizmu i vertikalnosti, već i keramičke dijelove od silicij-karbida visoke čistoće koji su potrebni za procese difuzije pločica, dopiranja, jetkanja u industriji poluvodiča. , posebno u tehnologiji pripreme CVDSiC materijala visoke čistoće, ima zrelu procesnu tehnologiju i ostvario je proizvodnju keramičkih kristalnih čamaca od silicij-karbida visoke čistoće, keramičke nosive ploče od silicij-karbida, keramičke zračne plutajuće pokretne platforme od silicij-karbida, ultra silicij-karbida -precizna pokretna platforma, vodilica od silicij-karbida, komponente klizne tračnice od silicij-karbida.
U budućnosti ćemo dodatno proširiti primjenu materijala od silicij-karbida u industriji poluvodiča i pridonijeti nadogradnji lanca industrije poluvodiča i keramičke industrije od silicij-karbida. Kinesko neovisno istraživanje preciznih keramičkih komponenti od silicij-karbida i domaća promocija primjene upravo su započeli, sa snažnim razvojem industrije poluvodiča, tržišna potražnja za ovom vrstom vrhunske keramičke strukture bit će sve veća, silicij-karbid sa svojim izvrsnim fizičkim i kemijskih svojstava, u industriji poluvodiča ima široke izglede za primjenu.
Keramika od silicij-karbida ne samo da ima izvrsna mehanička svojstva na sobnoj temperaturi, kao što su visoka čvrstoća na savijanje, izvrsna otpornost na oksidaciju, dobra otpornost na koroziju, visoku otpornost na habanje i nizak koeficijent trenja, već i mehanička svojstva na visokim temperaturama (čvrstoća, otpornost na puzanje, itd.) su najpoznatiji keramički materijali. Silicijev karbid ima karakteristike otpornosti na koroziju, otpornost na visoke temperature, visoku čvrstoću, dobru toplinsku vodljivost, otpornost na udarce... itd.
Zahtjevi litografskog stroja za strukturu stola izratka: Ultra-lagana (smanjuje inerciju gibanja, smanjuje opterećenje motora), ultra-visoka stabilnost (ultra-precizna obrada zahtijeva visoko-precizno kretanje i pozicioniranje, zahtijeva minimalnu dimenzionalnu deformaciju toplinskog širenja i druge čimbenike ), čistoća (visoka tvrdoća i visoka otpornost na habanje), može zadovoljiti tehničke zahtjeve velike veličine, šuplje tanke stijenke, složene strukture i preciznih strukturnih dijelova od silicij karbida za ključnu opremu za proizvodnju integriranih krugova koju predstavlja stroj za fotolitografiju.
Mogućnosti Fountyla
Maksimalna veličina:1600 mm.
Prilagodba strukture:lagana struktura, može se dizajnirati za smanjenje težine strukture.
Visoka točnost:Ravnost se može kontrolirati unutar 5 mikrona ili čak više točnosti.