Lakay
Pwodwi prensipal
Gwo bout bwa kare ak tren gid pou platfòm mouvman ultra-presizyon ak ekipman deteksyon
Lè w pran asanble vakyòm chuck la kòm yon egzanp, materyèl yo itilize nan premye epòk wafer 2 pous ak 4 pous se aliminyòm aviyasyon, men li te rankontre yon kou boutèy ultra-wo plat (pi bon pase 1 mikron) nan epòk gwo-gwosè. wafers (8 "ak plis pase 8"), ki pa ka satisfè endèks la difisil nan plat ultra-segondè epi li elimine. Apre sa, materyèl alumina kòm yon tranzisyon, modil elastik li yo, pwa limyè, konduktiviti tèmik ak koyefisyan ekspansyon ak tinen carbure Silisyòm, men se pa sou kèk anbarasan; Apre zouti nan teknoloji preparasyon nan gwo-gwosè ak konplèks espesyal ki gen fòm kre estrikti Silisyòm carbure seramik, eleman ki gen ladan ultra-presizyon baz materyo, ultra-presizyon gid flote lè, ak bra transmisyon wafer yo te modènize.
Se pa sèlman mansyone anwo a Silisyòm carbure pati seramik ki satisfè ultra-wo presizyon endikatè difisil sou flatness, paralelis, ak vètikal, pou pati yo wo-pite carbure Silisyòm seramik ki nesesè pou difizyon an wafer, dopaj, pwosesis grave nan endistri a semi-conducteurs. , espesyalman nan wo-pite CVDSiC materyèl preparasyon teknoloji a, gen yon teknoloji pwosesis matirite, e li te reyalize envantè de-wo pite Silisyòm carbure seramik kristal bato, silikon carbure seramik kote yo pote plak, silikon carbure seramik lè k ap flote platfòm mouvman, silikon carbure ultra -Precision k ap deplase platfòm, Silisyòm carbure gid tren, Silisyòm carbure glise konpozan tren.
Nan tan kap vini an, nou pral plis elaji aplikasyon an nan materyèl carbure Silisyòm nan endistri a semi-conducteurs ak kontribye nan amelyore nan chèn nan endistri semi-conducteurs ak endistri silikon carbure seramik. Konpozan presizyon silikon carbure seramik Lachin nan rechèch endepandan ak pwomosyon aplikasyon domestik te jis kòmanse, ak devlopman wòdpòte nan endistri semi-conducteurs, demann sou mache a pou sa a kalite-wo fen estrikti seramik yo pral pi plis ak plis gwo, carbure Silisyòm ak ekselan fizik li yo ak. pwopriyete chimik, nan endistri a semi-conducteurs gen kandida aplikasyon laj.
Seramik carbure Silisyòm pa sèlman gen ekselan pwopriyete mekanik nan tanperati chanm, tankou gwo fòs koube, ekselan rezistans oksidasyon, bon rezistans korozyon, segondè rezistans mete ak ba koyefisyan friksyon, men tou, segondè pwopriyete mekanik tanperati (fòs, rezistans ranpe, elatriye). se materyèl seramik pi byen li te ye. Silisyòm carbure gen karakteristik sa yo nan rezistans korozyon, rezistans tanperati ki wo, gwo fòs, bon konduktiviti tèmik, rezistans enpak ... elatriye.
Kondisyon yo nan machin litografi pou estrikti tab materyo: Ultra-lejè (diminye inèsi mouvman, redwi chaj motè), ultra-segondè estabilite (ultra-presizyon MACHINING mande pou mouvman segondè-presizyon ak pwezante, ki egzije minimòm deformation dimansyon nan ekspansyon tèmik ak lòt faktè. ), lapwòpte (segondè dite ak segondè rezistans mete), Li ka satisfè kondisyon yo ki teknik nan gwo gwosè, kre miray mens, estrikti konplèks ak presizyon Silisyòm carbure pati estriktirèl pou ekipman kle nan manifakti sikwi entegre reprezante pa machin fotolitografi.
Kapasite Fountyl
Gwosè maksimòm:1600mm.
Estrikti pèsonalizasyon:estrikti ki lejè, yo ka fèt pou diminye estrikti pwa.
Segondè presizyon:Flatness ka kontwole nan 5 mikron oswa menm pi wo presizyon.