Leave Your Message
Համատեղելիությամբ, բարձր խտության, բարձր կառուցվածքային ամրությամբ էլեկտրաստատիկ ամբարձիչ՝ հարմարեցված

Ապրանքներ

Ապրանքների կատեգորիաներ
Առաջարկվող ապրանքներ
0102030405

Համատեղելիությամբ, բարձր խտության, բարձր կառուցվածքային ամրությամբ էլեկտրաստատիկ ամբարձիչ՝ հարմարեցված

Վակուումային մթնոլորտում բնականոն օգտագործման գործառույթ ունի և խաղում է վաֆլի պահելու և ջերմաստիճանի վերահսկման դերը բարձր վակուումային պլազմայի կամ գազի հատուկ միջավայրում՝ օգնելով կիսահաղորդչային գործընթացի սարքավորումներին գիտակցել էլեկտրական բնութագրերի և ֆիզիկական ձևի փոփոխությունը հատուկ տարածքներում: վաֆլի, այնպես որ այն ներկայացնում է հատուկ գործառույթներ: Եվ մի շարք այլ բարդ և պահանջկոտ գործընթացների միջոցով, ի վերջո, վաֆլի վերածելը բարդ ինտեգրալ շղթայի կառուցվածքի: Էլեկտրաստատիկ ճարմանդը և էլեկտրաստատիկ չակ ջեռուցիչը լայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդչային միջուկի գործընթացում և հանդիսանում են իոնների իմպլանտացիայի, փորագրման, հիմնական գործընթացների գոլորշիների նստեցման հիմնական բաղադրիչներից մեկը:

    Հատկություններ

    Համատեղելիություն | Անհատականացում | Բարձր խտության | Բարձր կառուցվածքային ամրություն | Արագ առաքման ժամանակ | Ծախսերի արդյունավետ

    Դիմումներ

    Լոն-իմպլանտացիա | Բարակ թաղանթ | Փորագրել | Գործընթացի մշակում | Սարքավորումների դիզայն

    Դիզայն և արտադրություն

    12 դյույմանոց Fab-ը տրամադրվել է փաստացի կատարումը ստուգելու, վերականգնում և վերանորոգում ապահովելու և մշակումն ու դիզայնը ստուգելու համար:


    Կիսահաղորդչային և ինտեգրալային սխեմաների գործընթացային սարքավորումների և գործընթացի տեխնոլոգիայի մշակմամբ, օրգանական պոլիմերային նյութեր, մետաղական օքսիդներ և կերամիկական նյութեր որպես դիէլեկտրիկներ օգտագործող ավանդական էլեկտրաստատիկ ճարմանդները լիովին համատեղելի չեն այնպիսի նյութերի հետ, ինչպիսիք են սիլիկոնային վաֆլիները, շափյուղան և սիլիցիումի կարբիդը: Հետևաբար, աստիճանաբար կզարգանան առաջին, երկրորդ և երրորդ սերնդի կիսահաղորդչային վաֆլի բռնիչներով էլեկտրաստատիկ ճարմանդներ:

    Պոլիմերային էլեկտրաստատիկ չակ / ջեռուցիչ

    Պոլիմերային դիէլեկտրիկ նյութը (Պոլիմեր) ներկայումս ամենաշատ օգտագործվող էլեկտրաստատիկ մատիտ նյութն է, դրա պատրաստման գործընթացը նաև առավել հասուն է, պոլիմերային դիէլեկտրիկ նյութը պոլիմերային մոդիֆիկացիայից հետո, էլեկտրական, մեխանիկական, ջերմաստիճանի դիմադրությունը, հալոգեն դիմադրության հատկությունները զգալիորեն կբարելավվեն: Դիէլեկտրիկ նյութը ձևավորվում է այլ ինտեգրված գործողություններով, այնուհետև շերտավորվում է բազմաստիճան վակուումային ծանր բեռով, և ներքին էլեկտրոդների միջև ձևավորվում է խիտ դիէլեկտրիկ մեկուսիչ շերտ:

    Պոլիմերային էլեկտրաստատիկ չակ

    Պոլիմերային ձևափոխման տեխնոլոգիան օգտագործվում է ավելի մեծ զանգվածային դիմադրողականություն և հարաբերական դիէլեկտրական հաստատուն ձեռք բերելու և ավելի կայուն սեղմող ուժ ստանալու համար:
    Բարձր խտության դիէլեկտրիկ նյութերը կարող են նվազեցնել մասնիկների առաջացման վտանգը և նվազեցնել իոնների շարժունակությունը:
    Կծկվող առարկաների բազմազանությունը կարող է համատեղելի լինել տարբեր նյութերից վաֆլիների սեղմման հետ:
    Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն հալոգեն և պլազմային մթնոլորտներում:
    Բարձր արժեքի կատարողականություն, ընդունման կարճ ժամկետ, հարմար է արտադրանքի գործընթացի զարգացման և նոր սարքավորումների մշակման ստուգման համար:

    Պոլիմերային էլեկտրաստատիկ չակ տաքացուցիչով

    Այն կարող է իրականացնել բազմաթիվ ջեռուցման ջերմաստիճանի գոտիների դասավորությունը (մինչև 20 ջերմաստիճանային գոտիներ) և ունի ջեռուցման ջերմաստիճանի լավ միատեսակություն (±5%℃@150℃):
    Վակուումային լամինացման տեխնոլոգիան օգտագործվում է չափազանց բարձր խտության և մինչև 200 ° C ջեռուցման ջերմաստիճանի հասնելու համար:
    Ջեռուցման միատեսակ կոր, ջերմաստիճանի կորի ավելի լայն շրջանակով Կարգավորումներ:
    Բարձր արժեքի կատարողականություն, ընդունման կարճ ժամկետ, հարմար է արտադրանքի գործընթացի զարգացման և նոր սարքավորումների մշակման ստուգման համար:

    Կերամիկա Էլեկտրաստատիկ Չակ / Ջեռուցիչ

    Կերամիկական կոագուլյացիայի տեխնոլոգիան բարելավված սինթրման գործընթաց է ալյումինի/ալյումինի նիտրիդի կերամիկական էլեկտրաստատիկ ճարմանդների և ջեռուցիչների մշակման համար: Դրա հիմքը նանոմետր տրամագծով կերամիկական փոշու տարբեր տեսակների օգտագործումն է, որոնք խառնվում են որոշակի համամասնությամբ՝ յուրահատուկ խառնիչ սարքավորումների և խառնման գործընթացի միջոցով: Բարձր խտությամբ, կայուն բյուրեղային կառուցվածքով և դիմադրողականության միատեսակ բաշխմամբ կերամիկական էլեկտրաստատիկ ճարմանդները սինթրեյցվել են սինթրման սարքավորման որոշակի ջերմաստիճանի կորով: Կերամիկական կոագուլյացիայի տեխնոլոգիայով արտադրված ստատիկ չակն ունի բարձր խտություն, կայուն բյուրեղային կառուցվածք և ծավալային դիմադրողականության միատեսակ բաշխում և կարող է իրականացնել չիպի նորմալ կռվան ֆունկցիան կոշտ միջավայրում բարձր վակուումի, պլազմայի և հալոգենի պայմաններում:

    Al2O3 Էլեկտրաստատիկ Chuck

    Ծավալային դիմադրողականությունը վերահսկվում է կոագուլյացիայի կերամիկական տեխնոլոգիայի և համատեղ կրակման գործընթացի միջոցով՝ ավելի երկար պահող ուժ ստանալու համար:
    Բարձր ջերմաստիճանի սինթերման ներքին կառուցվածքը խիտ է, իսկ բյուրեղային կառուցվածքը՝ կայուն, և կարելի է ձեռք բերել ավելի մեծ ջերմաստիճանի միջակայքի պահելու կարողություն։
    Ինտեգրված համատեղ կրակման համաձուլվածքները նվազեցնում են իոնների միգրացիան:
    Պլազմայի հալոգենային վակուումային մթնոլորտում տևական գործողություն:

    AlN Էլեկտրաստատիկ Chuck

    Բետոնի նյութի բաղադրությունը և համամասնությունը վերահսկելով՝ կարելի է վերահսկել ծավալային դիմադրողականությունը և ձեռք բերել ավելի մեծ ջերմաստիճանի միջակայքում պահելու հզորությունը:
    Ջերմաստիճանի գոտու միասնական բաշխումն ապահովվում է բետոնե կերամիկայի սինթերման տեխնոլոգիայով և համատեղ կրակման գործընթացով:
    Ինտեգրված համակցված ձուլվածք՝ արտադրանքի որակը առավելագույնի հասցնելու համար:
    Պլազմայի հալոգենային վակուումային մթնոլորտում տևական գործողություն:

    Կերամիկա Էլեկտրաստատիկ Չակ տաքացուցիչով

    Այն կարող է իրականացնել բազմաթիվ ջեռուցման ջերմաստիճանի գոտիների դասավորությունը և ունի ջեռուցման ջերմաստիճանի լավ միատեսակություն (±7,5%℃@350℃):
    Վակուումային լամինացման սինթերման տեխնոլոգիան օգտագործվում է չափազանց բարձր խտացման և մինչև 550℃ տաքացման ջերմաստիճանի հասնելու համար:
    Ինտեգրված համակցված ձուլվածք՝ արտադրանքի որակը առավելագույնի հասցնելու համար:
    Պլազմայի հալոգենային վակուումային մթնոլորտում տևական գործողություն:

    Համալիր տիպի Էլեկտրաստատիկ Չակ / Ջեռուցիչ

    Կարող է համատեղելի լինել սիլիցիումի, գալիումի արսենիդի, սիլիցիումի կարբիդի, վաֆլի սեղմման շափյուղայի հետ, կարող է նվազեցնել սարքավորումների արտադրողների և վերջնական օգտագործողների մետաղալարերի փոփոխման ծախսերը: Բետոնի կերամիկական տեխնոլոգիայի և պոլիմերային ձևափոխման տեխնոլոգիայի հիման վրա ինտեգրված վակուումային լամինացիայի և տաք կապի տեխնոլոգիայի օգտագործումը կարող է նվազեցնել էլեկտրաստատիկ ծծողի ներքին ջերմային դիմադրությունը, հասնել ներքին ջերմաստիճանի միատեսակության, ձևավորել խիտ դիէլեկտրիկ մեկուսիչ շերտ՝ բարելավելու իոնների միգրացիայի դիմադրության կատարումը:

    Կոմպլեքս տիպի էլեկտրաստատիկ չակ

    Բետոնի կերամիկական և պոլիմերային մոդիֆիկացիայի տեխնոլոգիայի օգտագործումը, ունի ավելի խիտ կառուցվածք և ավելի ցածր գազի արտանետում:
    Դիէլեկտրիկ շերտի և էլեկտրոդի ափի հաստության ավելի խիստ հսկողություն:
    Կռվան առարկաների բազմազանությունը կարող է համատեղելի լինել տարբեր վաֆլիների սեղմման հետ:
    Մարմնի դիմադրողականությունը կարող է ճշգրիտ վերահսկվել՝ ավելի ուժեղ էլեկտրաստատիկ պահելու հզորություն ստանալու համար:
    Բարձր արժեքի կատարողականություն, ընդունման կարճ ժամկետ, հարմար է արտադրանքի գործընթացի զարգացման և նոր սարքավորումների մշակման ստուգման համար:

    Կոմպլեքս տիպի էլեկտրաստատիկ չակ տաքացուցիչով

    Այն կարող է իրականացնել բազմաթիվ ջեռուցման ջերմաստիճանի գոտիների դասավորությունը և ունի ջեռուցման ջերմաստիճանի լավ միատեսակություն (±3,5%℃@150℃):
    Վակուումային լամինացման տեխնոլոգիան օգտագործվում է չափազանց բարձր խտության և մինչև 200 ° C ջեռուցման ջերմաստիճանի հասնելու համար:
    Ջեռուցման միատեսակ կոր, ջերմաստիճանի կորի ավելի լայն շրջանակով Կարգավորումներ:
    Բարձր արժեքի կատարողականություն, ընդունման կարճ ժամկետ, հարմար է արտադրանքի գործընթացի զարգացման և նոր սարքավորումների մշակման ստուգման համար: