Հատկություններ
Համատեղելիություն | Անհատականացում | Բարձր խտության | Բարձր կառուցվածքային ամրություն | Արագ առաքման ժամանակ | Ծախսերի արդյունավետ
Դիմումներ
Լոն-իմպլանտացիա | Բարակ թաղանթ | Փորագրել | Գործընթացի մշակում | Սարքավորումների դիզայն
Դիզայն և արտադրություն
12 դյույմանոց Fab-ը տրամադրվել է փաստացի կատարումը ստուգելու, վերականգնում և վերանորոգում ապահովելու և մշակումն ու դիզայնը ստուգելու համար:
Կիսահաղորդչային և ինտեգրալային սխեմաների գործընթացային սարքավորումների և գործընթացի տեխնոլոգիայի մշակմամբ, օրգանական պոլիմերային նյութեր, մետաղական օքսիդներ և կերամիկական նյութեր որպես դիէլեկտրիկներ օգտագործող ավանդական էլեկտրաստատիկ ճարմանդները լիովին համատեղելի չեն այնպիսի նյութերի հետ, ինչպիսիք են սիլիկոնային վաֆլիները, շափյուղան և սիլիցիումի կարբիդը: Հետևաբար, աստիճանաբար կզարգանան առաջին, երկրորդ և երրորդ սերնդի կիսահաղորդչային վաֆլի բռնիչներով էլեկտրաստատիկ ճարմանդներ:
Պոլիմերային էլեկտրաստատիկ չակ / ջեռուցիչ
Պոլիմերային դիէլեկտրիկ նյութը (Պոլիմեր) ներկայումս ամենաշատ օգտագործվող էլեկտրաստատիկ մատիտ նյութն է, դրա պատրաստման գործընթացը նաև առավել հասուն է, պոլիմերային դիէլեկտրիկ նյութը պոլիմերային մոդիֆիկացիայից հետո, էլեկտրական, մեխանիկական, ջերմաստիճանի դիմադրությունը, հալոգեն դիմադրության հատկությունները զգալիորեն կբարելավվեն: Դիէլեկտրիկ նյութը ձևավորվում է այլ ինտեգրված գործողություններով, այնուհետև շերտավորվում է բազմաստիճան վակուումային ծանր բեռով, և ներքին էլեկտրոդների միջև ձևավորվում է խիտ դիէլեկտրիկ մեկուսիչ շերտ:
Պոլիմերային էլեկտրաստատիկ չակ
Պոլիմերային ձևափոխման տեխնոլոգիան օգտագործվում է ավելի մեծ զանգվածային դիմադրողականություն և հարաբերական դիէլեկտրական հաստատուն ձեռք բերելու և ավելի կայուն սեղմող ուժ ստանալու համար:
Բարձր խտության դիէլեկտրիկ նյութերը կարող են նվազեցնել մասնիկների առաջացման վտանգը և նվազեցնել իոնների շարժունակությունը:
Կծկվող առարկաների բազմազանությունը կարող է համատեղելի լինել տարբեր նյութերից վաֆլիների սեղմման հետ:
Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն հալոգեն և պլազմային մթնոլորտներում:
Բարձր արժեքի կատարողականություն, ընդունման կարճ ժամկետ, հարմար է արտադրանքի գործընթացի զարգացման և նոր սարքավորումների մշակման ստուգման համար:
Al2O3 Էլեկտրաստատիկ Chuck
Ծավալային դիմադրողականությունը վերահսկվում է կոագուլյացիայի կերամիկական տեխնոլոգիայի և համատեղ կրակման գործընթացի միջոցով՝ ավելի երկար պահող ուժ ստանալու համար:
Բարձր ջերմաստիճանի սինթերման ներքին կառուցվածքը խիտ է, իսկ բյուրեղային կառուցվածքը՝ կայուն, և կարելի է ձեռք բերել ավելի մեծ ջերմաստիճանի միջակայքի պահելու կարողություն։
Ինտեգրված համատեղ կրակման համաձուլվածքները նվազեցնում են իոնների միգրացիան:
Պլազմայի հալոգենային վակուումային մթնոլորտում տևական գործողություն: