տուն
Հիմնական արտադրանք
Քառակուսի ճառագայթ և ուղեցույց՝ ծայրահեղ ճշգրիտ շարժման հարթակի և հայտնաբերման սարքավորումների համար
Որպես օրինակ վերցնելով վակուումային ճարմանդային սարքը, ամենավաղ 2 դյույմ և 4 դյույմ վաֆլի դարաշրջանում օգտագործվող նյութը ավիացիոն ալյումինն է, սակայն այն բախվել է չափազանց բարձր հարթության (ավելի լավ, քան 1 միկրոն) մեծ չափերի դարաշրջանում: վաֆլիներ (8 «և ավելի քան 8»), որը չի կարող բավարարել գերբարձր հարթության կոշտ ցուցանիշը և վերացվում է։ Հաջորդը, կավահող նյութը որպես անցում, նրա առաձգական մոդուլը, թեթև քաշը, ջերմային հաղորդունակությունը և ընդլայնման գործակիցը և սիլիցիումի կարբիդային թզուկը, բայց ոչ որոշ ամոթալի. Խոշոր և բարդ հատուկ ձևավորված սիլիցիումի կարբիդային կերամիկայի պատրաստման տեխնոլոգիայի առաջընթացից հետո արդիականացվել են բաղադրիչները, ներառյալ գերճշգրիտ աշխատանքային մասի հիմքը, գերճշգրիտ օդային բոց ուղեցույցը և վաֆլի փոխանցման թեւը:
Ոչ միայն վերը նշված սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական մասերը, որոնք համապատասխանում են հարթության, զուգահեռության և ուղղահայացության գերճշգրիտ կոշտ ցուցիչներին, բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդային կերամիկական մասերի համար, որոնք անհրաժեշտ են կիսահաղորդչային արդյունաբերությունում վաֆլի դիֆուզիայի, դոպինգի, փորագրման գործընթացների համար։ , հատկապես բարձր մաքրության CVDSiC նյութերի պատրաստման տեխնոլոգիայի մեջ, ունի հասուն գործընթացի տեխնոլոգիա և իրականացրել է բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդ կերամիկական բյուրեղյա նավակ, սիլիցիումի կարբիդ կերամիկական կրող ափսե, սիլիցիումի կարբիդ կերամիկական օդի լողացող շարժման հարթակ, սիլիցիումի կարբիդ ուլտրա -ճշգրիտ շարժվող հարթակ, սիլիցիումի կարբիդի ուղեցույց, սիլիցիումի կարբիդի սլայդ երկաթուղային բաղադրիչներ:
Ապագայում մենք կընդլայնենք սիլիցիումի կարբիդային նյութերի կիրառումը կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ և կնպաստենք կիսահաղորդչային արդյունաբերության շղթայի և սիլիցիումի կարբիդի կերամիկական արդյունաբերության արդիականացմանը: Չինաստանի ճշգրիտ սիլիցիումի կարբիդի կերամիկական բաղադրիչների անկախ հետազոտությունը և ներքին կիրառման առաջխաղացումը հենց նոր են սկսվել, կիսահաղորդչային արդյունաբերության բուռն զարգացումով, այս տեսակի բարձրակարգ կերամիկական կառուցվածքի շուկայի պահանջարկը գնալով ավելի մեծ կլինի, սիլիցիումի կարբիդն իր գերազանց ֆիզիկական և գերազանց ֆիզիկական և արդյունավետությամբ: քիմիական հատկությունները, կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ կիրառման լայն հեռանկարներ ունի:
Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկան ոչ միայն հիանալի մեխանիկական հատկություններ ունի սենյակային ջերմաստիճանում, ինչպիսիք են բարձր ճկման ուժը, գերազանց օքսիդացման դիմադրությունը, լավ կոռոզիոն դիմադրությունը, բարձր մաշվածության դիմադրությունը և շփման ցածր գործակիցը, այլև բարձր ջերմաստիճանի մեխանիկական հատկությունները (ուժ, սողացող դիմադրություն և այլն): ամենահայտնի կերամիկական նյութերն են։ Սիլիցիումի կարբիդն ունի կոռոզիոն դիմադրության, բարձր ջերմաստիճանի դիմադրության, բարձր ամրության, լավ ջերմային հաղորդունակության, ազդեցության դիմադրության բնութագրեր... և այլն:
Լիտոգրաֆիայի մեքենայի պահանջները աշխատանքային մասի սեղանի կառուցվածքի համար. Գերթեթև (նվազեցնում է շարժման իներցիան, նվազեցնում է շարժիչի բեռը), գերբարձր կայունություն (գերճշգրիտ հաստոցը պահանջում է բարձր ճշգրտության շարժում և դիրքավորում, որը պահանջում է ջերմային ընդլայնման նվազագույն ծավալային դեֆորմացիա և այլ գործոններ: ), մաքրություն (բարձր կարծրություն և բարձր մաշվածության դիմադրություն), Այն կարող է բավարարել ֆոտոլիտոգրաֆիայի մեքենայի կողմից ներկայացված ինտեգրալ շղթայի արտադրության հիմնական սարքավորումների համար մեծ չափի, խոռոչ բարակ պատի, բարդ կառուցվածքի և սիլիցիումի կարբիդի ճշգրիտ կառուցվածքի տեխնիկական պահանջները:
Fountyl հնարավորություններ
Առավելագույն չափը:1600 մմ:
Կառուցվածքի հարմարեցում.թեթև կառուցվածք, կարող է նախագծվել քաշի կառուցվածքը նվազեցնելու համար:
Բարձր ճշգրտություն.Հարթությունը կարող է վերահսկվել 5 մկմ կամ նույնիսկ ավելի բարձր ճշգրտությամբ: