Plasma pertama kali ditemukan oleh William Crookes pada tahun 1879 dan diberi nama “plasma” oleh Irving Langmuir pada tahun 1929. Penerapan plasma dalam pembuatan chip sangatlah umum dan penting, dapat dikatakan...
Teknologi litografi adalah teknologi semikonduktor utama yang dikembangkan berdasarkan teknologi fotografi dan teknologi pencetakan datar.