Perahu SiC, adalah perahu silikon karbida. Perahu silikon karbida digunakan dalam tabung tungku, diisi dengan wafer untuk perlakuan suhu tinggi pada aksesori suhu tinggi. Karena silikon karbida...
Plasma pertama kali ditemukan oleh William Crookes pada tahun 1879 dan diberi nama “plasma” oleh Irving Langmuir pada tahun 1929. Penerapan plasma dalam pembuatan chip sangatlah umum dan penting, dapat dikatakan...
