Pengenalan otomatis untuk penanganan dan transfer wafer

Industri pembuatan wafer adalah industri dengan tingkat otomatisasi tertinggi di semua industri manufaktur, dan saya pribadi yakin tidak ada satu pun.

Mengapa tingkat otomatisasi pembuatan wafer bisa begitu tinggi, salah satunya karena prosesnya memerlukan presisi tinggi, kebersihan tinggi, keandalan tinggi, partisipasi manual tidak dapat memenuhi persyaratan ini. Yang kedua adalah uang.

Jadi, tingkat otomatisasi apa yang telah dicapai dalam pembuatan wafer? Makalah ini memberikan pengenalan singkat tentang penanganan wafer yang paling sederhana.

Penyimpanan di wafer

Wafer disimpan menggunakan unit memori standar yang disebut FOUP (Front Opening Unified Pod). Ini adalah kotak penyimpanan wafer. Kotak ini dirancang untuk penanganan otomatis dan merupakan dasar untuk otomatisasi penuh.

Sistem penanganan wafer otomatis AMHS

Sistem Penanganan Material Otomatis (AMHS) adalah inti dari penanganan wafer. Kadang-kadang disebut sebagai sistem derek.

Derek dipasang di rel langit-langit dalam ruangan, dan banyak derek beroperasi secara efisien di rel di bawah penerapan sistem kontrol.

Alasan utama memasang plafon adalah untuk menghemat ruang. Wafer menghasilkan begitu banyak perangkat sehingga derek bertanggung jawab untuk mentransfer material antar ribuan perangkat di seluruh pabrik. Rel transmisi di darat mungkin sebanding dengan jalan kota yang padat. Biaya ruang kamar bersih mahal.

Berjalan di langit-langit derek, kebebasan ruang berjalan sangat besar, posisi peralatan tetap, derek dapat mencapai puncak mesin kapan saja.

Gudang penyimpanan wafer juga dipasang di langit-langit, dan derek bertanggung jawab untuk menyimpan atau mengeluarkan. Dengan cara ini, selama mesin produksi ditempatkan di tanah, mesin tersebut dapat dikeluarkan secara padat,selama staf pemeliharaan bisa masuk.

Derek yang berjalan di sky rail bertanggung jawab untuk bergerak di sky rail, dan juga bertanggung jawab untuk menangkap dan mengangkat FOUP.

Berbagai peralatan produksi dirancang dengan platform yang diperluas untuk menerima derek yang diangkat ke kotak wafer.

Di bidang peralatan penanganan wafer otomatis (AMHS), pasar global saat ini didominasi oleh Daifuku dari Jepang, Murata Machinery dari Jepang, SEMES dari Samsung dari Korea Selatan dan perusahaan lainnya, menguasai sekitar 90% pangsa pasar. Karena sistem AMHS memiliki dampak global pada lini produksi pabrik, pelanggan sangat berhati-hati dalam memilih, dan produsen AMHS dalam negeri yang sedang berkembang harus melalui proses verifikasi yang panjang untuk memasuki bidang semikonduktor, yang memerlukan terobosan berkelanjutan dari proses lokal dan sederhana hingga secara keseluruhan, proses lanjutan.

Bongkar muat wafer (EFEM)

EFEM (Equipment Front End Module), bahasa Inggris untuk menggambarkan ini adalah modul docking ujung depan dan belakang, dari sudut pandang pengguna, kami adalah proses bongkar muat wafer.

Setiap perangkat fungsional mengoperasikan satu wafer pada satu waktu. EFEM bertanggung jawab mengeluarkan wafer dari kotaknya satu per satu dan memasukkannya ke dalam peralatan untuk diproses. Selesaikan pemrosesan dan masukkan kembali menjadi beberapa bagian. Seluruh proses pemindahan dan pemrosesan wafer dilakukan dalam ruang tertutup dengan persyaratan kebersihan tinggi, bebas dari kontaminasi eksternal, dan perlindungan mutlak terhadap wafer.

Proses pembuatan wafer, seluruh prosesnya otomatis, pada dasarnya telah mencapai tingkat bengkel tak berawak. Namun, insinyur dengan kemampuan teknis yang lebih tinggi diperlukan di latar belakang untuk pengendalian program, pengaturan parameter, dan pemeliharaan peralatan.

Berapa tingkat otomatisasi dalam pembuatan wafer? Beberapa profesional membagi otomatisasi menjadi lima tingkatan:

Berdasarkan level tersebut, derajat otomatisasi industri wafer berada pada level 3-4. Tentu saja level masing-masing produsen wafer berbeda-beda. Sebagian besar industri manufaktur elektronik lainnya memiliki tingkat otomatisasi 2-3. Tingkat otomatisasi masih memiliki banyak ruang untuk dikembangkan.

Fountyl Technologies PTE Ltd, berfokus pada industri manufaktur semikonduktor, produk utama meliputi: Pin chuck, chuck keramik berpori, efektor ujung keramik, balok persegi keramik, spindel keramik, selamat datang untuk menghubungi dan negosiasi!