Pengenalan pemanas keramik aluminium nitrida, komponen kunci peralatan semikonduktor

Hari ini kami memperkenalkan kepada Anda komponen utama peralatan semikonduktor - Pemanas Keramik dan produsen terkait. Dalam proses pembuatan perangkat semikonduktor seperti sirkuit terpadu, berbagai perawatan seperti pembentukan film dan pengetsaan dilakukan pada wafer semikonduktor. Dalam proses pembuatan wafer, wafer perlu dipanaskan sampai suhu tertentu, dan keseragaman suhu wafer mempunyai persyaratan yang sangat ketat, karena keseragaman suhu wafer mempunyai pengaruh yang sangat penting terhadap kualitas chip semikonduktor; Pada saat yang sama, perlu juga bekerja di lingkungan vakum, plasma, gas kimia, yang memerlukan penggunaan pemanas keramik.

Pemanas keramik adalah komponen penting dalam perangkat pengendapan film semikonduktor, yang dapat mencapai distribusi suhu yang seragam, pemanasan wafer yang seragam, dan memungkinkan reaksi presisi tinggi pada permukaan substrat dan pembentukan film. Umumnya, pemanas keramik terdiri dari substrat keramik dengan permukaan pemuatan wafer dan badan penyangga silinder di bagian belakang untuk menopangnya. Selain rangkaian elemen pemanas resistansi untuk pemanasan, badan konduktif seperti elektroda RF dan elektroda chuck elektrostatis juga dipasang pada bagian dalam atau permukaan substrat keramik.

Pemanas keramik biasanya menggunakan keramik aluminium nitrida, aluminium nitrida memiliki insulasi listrik dan konduktivitas termal yang sangat baik, Sangat ideal untuk aplikasi yang memerlukan pembuangan panas; Selain itu, karena koefisien muai panasnya mendekati silikon dan memiliki ketahanan plasma yang sangat baik, ia dapat digunakan untuk memproduksi komponen peralatan pemrosesan semikonduktor.

Menurut laporan Penelitian Business Research Insights, skala pasar pemanas keramik aluminium nitrida global adalah $33 juta pada tahun 2022, dan diperkirakan akan mencapai $78,529 juta pada tahun 2031, dengan tingkat pertumbuhan tahunan gabungan sebesar 10% selama periode perkiraan. Pasar pemanas keramik global didominasi oleh perusahaan asing, dan saat ini, situasi pemanas keramik Singapura dengan tingkat pengaturan mandiri konsisten dengan suku cadang semikonduktor dan bahan baku utama lainnya seperti chuck elektrostatis, dan perusahaan Singapura dan domestik sangat sedikit. meraih.

Fountyl Technologies PTE Ltd, yang didirikan pada tahun 2023, secara bertahap telah mematahkan monopoli asing setelah bertahun-tahun melakukan penelitian dan pengembangan, dan produk-produknya seperti chuck keramik, chuck pin, lengan keramik, balok persegi keramik, pemandu keramik, bushing bantalan, dan meja pemanas adalah banyak digunakan di produsen peralatan semikonduktor lini pertama dan perusahaan manufaktur elektronik.

Mengandalkan kemampuan material terdepan serta teknologi pemrosesan dan manufaktur yang kaya, suku cadang material keramik canggihnya mencakup berbagai bidang hilir. Keramik tingkat lanjut terutama digunakan dalam peralatan proses pembuatan wafer, dan kini telah memasuki peralatan etsa, deposisi film, implantasi ion, litografi dan difusi oksidasi, dan digunakan dalam peralatan proses semikonduktor batch dan proses produksi. Keramik canggih untuk peralatan semikonduktor mencakup silinder toroidal, penahan beban, gripper, dan modul pemanas keramik.