Pengantar penerapan keramik presisi semikonduktor

Keramik tingkat lanjut adalah fondasi dari keseluruhan fondasi industri semikonduktor. Karena keramik memiliki keunggulan kekerasan tinggi, modulus elastisitas tinggi, ketahanan aus yang tinggi, insulasi tinggi, ketahanan korosi, ekspansi rendah...dll., keramik dapat digunakan sebagai bagian dari mesin pemoles silikon, peralatan perlakuan panas epitaksi/oksidasi/difusi , mesin litografi, peralatan deposisi, peralatan etsa semikonduktor, mesin implantasi ion. Perangkat semikonduktor memerlukan sejumlah besar komponen keramik presisi. Keramik peralatan semikonduktor termasuk alumina, zirkonia, silikon nitrida, aluminium nitrida, silikon karbida, yttrium oksida...dll. Dalam peralatan semikonduktor, nilai keramik presisi menyumbang sekitar 16%. Peralatan semikonduktor adalah pendukung utama rantai industri semikonduktor dan landasan manufaktur semikonduktor, dan laporan SEMI terbaru memperkirakan bahwa penjualan peralatan semikonduktor global akan mencapai $87 miliar pada tahun 2023 menjadi $87,4 miliar, dan akan pulih menjadi $100 miliar pada tahun 2024.

Dengan pesatnya perkembangan industri semikonduktor dalam negeri, pabrik pengecoran wafer telah membangun pabrik di Asia Tenggara, yang telah menyebabkan peningkatan bahan semikonduktor dan peralatan pendukungnya, alokasi sumber daya rantai pasokan asing ke dalam negeri, dan juga munculnya banyak perusahaan lokal yang unggul. produsen peralatan semikonduktor, di bawah tren perkembangan dalam negeri, permintaan suku cadang keramik presisi peralatan semikonduktor akan meningkat.

Karena posisi dan pentingnya dalam peralatan semikonduktor, suku cadang keramik canggih harus memenuhi persyaratan kinerja komprehensif peralatan semikonduktor untuk material dalam mekanika mekanik, panas, dielektrik, ketahanan asam dan alkali serta korosi plasma, dan persyaratan presisi tinggi, karena suku cadang keramik dalam semikonduktor Peralatan biasanya berada dekat di sekitar wafer, bahkan ada yang langsung bersentuhan dengan wafer. Oleh karena itu, pengendalian ion dan partikel logam pada permukaannya sangat ketat. Selain itu, karena produksi komponen keramik untuk perangkat semikonduktor melibatkan sertifikasi produsen peralatan asli, oleh karena itu termasuk dalam industri dengan ambang eksklusivitas yang tinggi. Selain itu, di bidang pengemasan dan pengujian semikonduktor, bahan keramik juga dapat digunakan dalam liner pengemasan perangkat semikonduktor daya dan kartu probe uji.

Rantai industri keramik semikonduktor meliputi pemrosesan wafer semikonduktor, perangkat semikonduktor daya, pengemasan dan pengujian perusahaan aplikasi hilir; Peralatan litografi, peralatan difusi oksidasi, peralatan etsa, peralatan pengukiran kering, peralatan implantasi ion, peralatan pengendapan film, peralatan PVD, peralatan CVD, peralatan deposisi lapisan atom (ALD), peralatan pemolesan mekanis kimia, peralatan anil laser peralatan semikonduktor kelas atas perusahaan; Peralatan persiapan bubuk, mixer, mesin pengamplasan, mesin tiga rol, peralatan granulasi semprot, mesin cetak injeksi, mesin pengecoran, peralatan laminating, peralatan pengepres kering, cetakan grouting, peralatan pengepres isostatik, peralatan sablon, penghilangan lemak, peralatan sintering, CNC, mesin penggilingan, peralatan pemoles, peralatan sandblasting, peralatan mematri vakum, perlengkapan perkakas peralatan produksi dan perusahaan aksesoris; Bagian keramik (lengan pegangan, chuck elektrostatik, pemanas keramik, cincin pelapis, nosel, ruang, kartu probe, serpihan keramik...dll.), keramik alumina, keramik berpori, keramik zirkonia, keramik aluminium nitrida, keramik silikon nitrida, silikon karbida keramik, keramik aluminium silikon karbida...dll.