Perahu SiC, adalah perahu silikon karbida. Perahu silikon karbida digunakan dalam tabung tungku, diisi dengan wafer untuk perlakuan suhu tinggi pada aksesori suhu tinggi. Karena silikon karbida...
Dalam bidang teknologi semikonduktor yang berkembang pesat, deposisi uap fisik (PVD) adalah alat utama untuk mencapai presisi dan efisiensi proses deposisi film tipis. Makalah ini ...