Introduzione sull'applicazione della ceramica di precisione a semiconduttore

La ceramica avanzata è il fondamento dell'intera industria dei semiconduttori. Poiché la ceramica presenta i vantaggi di elevata durezza, elevato modulo elastico, elevata resistenza all'usura, elevato isolamento, resistenza alla corrosione, bassa espansione... ecc., può essere utilizzata come parte di lucidatrici al silicio, apparecchiature per il trattamento termico epitassiale/ossidazione/diffusione , macchina per litografia, attrezzatura per deposizione, attrezzatura per incisione di semiconduttori, macchina per impiantazione di ioni. I dispositivi a semiconduttore richiedono un gran numero di componenti ceramici di precisione. Le ceramiche per apparecchiature a semiconduttore includono allumina, zirconio, nitruro di silicio, nitruro di alluminio, carburo di silicio, ossido di ittrio... ecc. Nelle apparecchiature per semiconduttori, il valore della ceramica di precisione rappresenta circa il 16%. Le apparecchiature per semiconduttori rappresentano il supporto chiave della catena industriale dei semiconduttori e la pietra angolare della produzione di semiconduttori, e l’ultimo rapporto SEMI prevede che le vendite globali di apparecchiature per semiconduttori saranno comprese tra 87 miliardi di dollari nel 2023 e 87,4 miliardi di dollari, e torneranno a 100 miliardi di dollari nel 2024.

Con il vigoroso sviluppo dell'industria nazionale dei semiconduttori, le fonderie di wafer hanno costruito fabbriche nel sud-est asiatico, il che ha portato al miglioramento dei materiali semiconduttori e delle apparecchiature di supporto, all'allocazione delle risorse della catena di fornitura estera per l'inclinazione nazionale, ma anche all'emergere di molti eccellenti locali produttori di apparecchiature per semiconduttori, sotto la tendenza dello sviluppo interno, aumenterà la domanda di parti in ceramica di precisione per apparecchiature per semiconduttori.

A causa della loro posizione e importanza nelle apparecchiature per semiconduttori, le parti ceramiche avanzate devono soddisfare i requisiti prestazionali completi delle apparecchiature per semiconduttori per i materiali nella meccanica meccanica, resistenza al calore, dielettrica, agli acidi e agli alcali e alla corrosione del plasma, nonché requisiti di alta precisione, poiché le parti ceramiche nelle apparecchiature a semiconduttore le apparecchiature si trovano solitamente strettamente attorno al wafer e alcune addirittura sono a contatto diretto con il wafer. Pertanto, il controllo degli ioni metallici e delle particelle sulla sua superficie è estremamente severo. Inoltre, poiché la produzione di componenti ceramici per dispositivi a semiconduttori prevede la certificazione del produttore di apparecchiature originali, appartiene quindi al settore con un'elevata soglia di esclusività. Inoltre, nel campo dell'imballaggio e del test dei semiconduttori, i materiali ceramici possono essere utilizzati anche in rivestimenti per l'imballaggio di dispositivi a semiconduttore di potenza e schede per sonde di test.

La catena industriale della ceramica a semiconduttore comprende la lavorazione dei wafer semiconduttori, i dispositivi a semiconduttore di potenza, l'imballaggio e il test delle imprese applicative a valle; Apparecchiature per litografia, apparecchiature per diffusione dell'ossidazione, apparecchiature per incisione, apparecchiature per incisione a secco, apparecchiature per impianto di ioni, apparecchiature per deposizione di pellicole, apparecchiature PVD, apparecchiature CVD, apparecchiature per deposizione di strati atomici (ALD), apparecchiature per lucidatura chimico-meccanica, apparecchiature per ricottura laser di apparecchiature per semiconduttori di fascia alta imprese; Attrezzatura per la preparazione delle polveri, miscelatore, levigatrice, macchina a tre rulli, attrezzatura per granulazione a spruzzo, macchina per stampaggio a iniezione, macchina per colata, attrezzatura per laminazione, attrezzatura per pressatura a secco, stampaggio per stuccatura, attrezzatura per pressatura isostatica, attrezzatura per serigrafia, sgrassatura, attrezzatura per sinterizzazione, CNC, fresatrice, attrezzature per lucidatura, attrezzature per sabbiatura, attrezzature per brasatura sotto vuoto, attrezzature per attrezzature di produzione e accessori delle imprese; Parti in ceramica (braccio di movimentazione, mandrino elettrostatico, riscaldatore ceramico, anello di rivestimento, ugello, camera, scheda sonda, scheggia di ceramica... ecc.), ceramica di allumina, ceramica porosa, ceramica di zirconio, ceramica di nitruro di alluminio, ceramica di nitruro di silicio, carburo di silicio ceramica, ceramica di carburo di silicio di alluminio... ecc.