リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…