静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。
一般の印象では、ウェーハは薄くて丸い高純度シリコンウェーハであり、この高純度シリコンウェーハを処理してさまざまな回路部品構造を製造できます。