プラズマは 1879 年にウィリアム・クルックスによって初めて発見され、1929 年にアーヴィング・ラングミュアによって「プラズマ」と命名されました。チップ製造におけるプラズマの応用は非常に一般的かつ重要であり、これは非常に重要であると言えます。
長年の市場応用を経て、この SPI 検出装置は非常に成熟し、効率的になりました。
