特殊な多孔質セラミック素材の細孔径は2~3ミクロンで、大きな真空力と部分的な吸着力により目詰まりしにくくなっています。 エアフローティングとしても使用できます。
技術は常に進歩と革新を続けており、半導体技術は急速に発展しており、チップパッケージング技術も従来のパッケージングから最先端のパッケージングまで発展しています。