SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。
水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...