SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。
機能性セラミックスは、光、熱、力、音、磁気、電気などの直接効果と結合効果を利用した先端素材です。
