近年、世界的にウェーハの需給バランスが崩れており、200mmウェーハの品薄状態は数年続くことが予想されています。
静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。