急速に進化する半導体技術の分野において、物理蒸着 (PVD) は、薄膜蒸着プロセスの精度と効率を達成するための重要なツールです。 この紙は...
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…