SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…
微多孔質セラミックには、吸着性、浸透性、耐食性、環境適合性、生体適合性、表面構造の独特の物理的および化学的特性という利点があります。
