現在、国内の真空半導体部品は約 3 ~ 5 年前の国内半導体装置の開発段階に相当し、国内の複数の部品サプライヤーがいます。
多孔質セラミックスチャックは、ナノ多孔質真空チャックとも呼ばれ、特殊なナノパウダー製造プロセスによって生成される均一な固体または真空の球体を指します。