半導体技術の発展は、グリーン社会と低炭素社会を構築するための重要な原動力です。 同時に、半導体業界自体も積極的に優れた成果を達成しています。
水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...