プラズマは 1879 年にウィリアム・クルックスによって初めて発見され、1929 年にアーヴィング・ラングミュアによって「プラズマ」と命名されました。チップ製造におけるプラズマの応用は非常に一般的かつ重要であり、これは非常に重要であると言えます。
X 線は生産や生活に広く使用されており、半導体製造の重要性は自明です。 今日は、半導体製造における X 線の応用について話しましょう。