エッチングの利点は、サンプル作製コストが安く、一般的に使用される工業用金属材料のほとんどをエッチングできることです。 金属の硬さには制限がありません。 速くてシンプル...
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…