セラミック エンド エフェクター (セラミック ロボット アーム) は、半導体プロセスの生産全体を通じてシリコン ウェーハを操作および搬送するために使用されます。 大きなウェーハを処理することができ、...
薄膜堆積は、基板上にナノスケールの膜の層を堆積し、その後エッチングや研磨などのプロセスを繰り返して、多数の積層された導電性または絶縁性の層を作成します。