特殊な多孔質セラミック素材の細孔径は2～3ミクロンで、大きな真空力と部分的な吸着力により目詰まりしにくくなっています。 エアフローティングとしても使用できます。
X 線は生産や生活に広く使用されており、半導体製造の重要性は自明です。 今日は、半導体製造における X 線の応用について話しましょう。
