半導体技術の発展は、グリーン社会と低炭素社会を構築するための重要な原動力です。 同時に、半導体業界自体も積極的に優れた成果を達成しています。
高密度セラミック真空チャック (多孔質セラミック真空チャック) は、孔径 2 ～ 3 ミクロンの特殊な多孔質セラミック素材で、詰まりにくく、高い真空力で、一部の領域に吸着します。
