10 年以上にわたり、液浸リソグラフィーは半導体製造における主要な露光技術でした。
静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。