水素ベースのプラズマに切り替えることで、GaN 基板の高速エッチングが保証され、日本の大阪大学の技術者らは、窒化ガリウム (GaN...
アルミナセラミックスは、高い機械的強度、大きな絶縁抵抗、高硬度、耐摩耗性、耐食性、耐高温性など、一連の優れた特性を持っています。