工場内のすべてのプロセスが完了した後のウェーハの保管と輸送に関する特別な要件は何ですか? 環境に配慮した特別な梱包が必要ですか?
特殊な多孔質セラミック素材の細孔径は2~3ミクロンで、大きな真空力と部分的な吸着力により目詰まりしにくくなっています。 エアフローティングとしても使用できます。