ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。
ウェーハのスライシング (切断) は、1 枚のウェーハを複数の独立したチップ (「ダイ」) に切断するプロセスを指します。
