レーザーはウェーハ上に焦点を合わせ、光スポットを照射し、反射光は受光面上で再焦点合わせされ、光の分析を通じてシリコンウェーハの表面が...
SiC エピタキシャル層の高品質な結晶品質の特性により、信頼性を確保するには、エピタキシャル層は高純度で欠陥密度の低い結晶構造を持つ必要があります。