ウェーハの製造プロセスでは、ウェーハを一定の温度に加熱する必要があり、ウェーハの温度が均一であるため、ウェーハの温度均一性には非常に厳しい要件があります。
精密セラミック材料には、さまざまな性能要件に応じてさまざまな加工方法があります。 現在、主な加工方法としては、機械加工、電気加工などが挙げられます。
