静電チャック(ESC、e-Chuck)としても知られる静電吸着器は、静電吸着の原理を利用して吸着物を保持および固定する治具であり、さまざまな用途に適しています。
精密セラミック材料には、さまざまな性能要件に応じてさまざまな加工方法があります。 現在、主な加工方法としては、機械加工、電気加工などが挙げられます。