レーザーはウェーハ上に焦点を合わせ、光スポットを照射し、反射光は受光面上で再焦点合わせされ、光の分析を通じてシリコンウェーハの表面が...
リソグラフィー技術は、写真技術やフラットプリンティング技術をベースに発展した半導体の基幹技術です。