ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。
EUV の利点の 1 つはチップ処理ステップの削減であり、従来の多重露光技術の代わりに EUV を使用すると、堆積、エッチングなどのステップが大幅に削減されます。
