特殊な多孔質セラミック素材の細孔径は2~3ミクロンで、大きな真空力と部分的な吸着力により目詰まりしにくくなっています。 エアフローティングとしても使用できます。
半導体装置はエレクトロニクス産業の発展を支える基礎ですが、半導体産業チェーンの上流市場スペースも最も広く、最も重要です。