半導体産業チェーン、特に第 3 世代半導体 (ワイドバンドギャップ半導体) 産業チェーンでは、基板とエピタキシャル層が存在しますが、その重要性は何でしょうか。
ASML は、1984 年 4 月 1 日に ASM リソグラフィーとして設立されました。 フィリップスと ASM インターナショナルのこの合弁事業の使命は、フィリップスが開発したウェーハ ステッパーである PAS 2000 を商品化することです。