集積回路製造の主要な技術と装置には、主にリソグラフィー技術とリソグラフィー装置、膜成長技術と装置、化学機械プロセスが含まれます。
機能性セラミックスは、光、熱、力、音、磁気、電気などの直接効果と結合効果を利用した先端素材です。
