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放熱部品や耐食部品に使用される窒化アルミニウムセラミックス

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半導体、光学、光通信、太陽光発電、LED分野に使用される石英ガラス構造部品

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新エネルギー・医療分野向け高精度セラミックピストン

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耐食部品、シール部品、耐高温部品、ガイドレール、角梁などに使用される炭化ケイ素

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自動車、半導体、大型集積回路に使用される酸化ベリリウムセラミック部品

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半導体露光装置やウエハ検査装置に使用されるウエハピンチャック

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リング溝チャックは、シリコンウェーハ、ウェーハ、およびさまざまなワークピースや材料を吸着、固定、搬送、ハンドリングするために半導体製造装置で広く使用されています。

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