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耐食部品、シール部品、耐高温部品、ガイドレール、角梁などに使用される炭化ケイ素

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各種純天然石英を溶解した石英ガラス

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耐摩耗部品、耐熱部品にジルコニアを使用

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半導体露光装置やウエハ検査装置に使用されるウエハピンチャック

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カスタマイズされた互換性、高密度、高い構造強度を備えた静電チャック

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放熱部品や耐食部品に使用される窒化アルミニウムセラミックス

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リング溝チャックは、シリコンウェーハ、ウェーハ、およびさまざまなワークピースや材料を吸着、固定、搬送、ハンドリングするために半導体製造装置で広く使用されています。

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