エピタキシーとは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスの製造プロセスにおいて極めて重要な位置を占める結晶成長または材料堆積技術を指します。
半導体プロセス全体で繰り返し洗浄する必要があり、洗浄プロセスは半導体業界全体で行われており、全生産プロセスの 30% 以上を占めています。