ウェーハのスライシング (切断) は、1 枚のウェーハを複数の独立したチップ (「ダイ」) に切断するプロセスを指します。
SiCボートは炭化ケイ素ボートです。 炉心管には炭化ケイ素ボートが使用されており、高温アクセサリの高温処理のためにウェーハが装填されています。 炭化ケイ素だから…